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本帖最后由 Heaven_1 于 2023-8-29 14:31 编辑
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0 S% v, n \9 u- ]8 f集成电路与微系统封装.( g. U& I5 f* `, [; Y2 z/ i
微电子经验及成果分享及交流,微电子行业动态,微电子先进设备前沿发布。
$ e7 |7 f" c3 Q/ ~$ _; M芯片植金球的工艺参数文件
' ^& [. T; r" z. c8 D3 k( h' i一、概述芯片植金球是一种重要的半导体封装工艺,用于连接芯片与封装基板之间的电信号传输。本文件将介绍芯片植金球工艺的关键参数,以便实施该工艺的工程师能够准确了解和控制工艺过程。
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二、工艺参数: N# y7 F4 P# K: g! F
1. 芯片尺寸:芯片的长宽尺寸,通常以毫米(mm)为单位。这个参数对于植金球的精度和位置控制非常重要。
* x2 ]# h* K& F. n5 V# p2. 植金球直径:植金球的直径,通常以微米(μm)为单位。植金球的直径决定了球与芯片之间的接触面积和电连接的可靠性。
$ q- F; u6 S! }* a( j" T& b4 L3. 植金球间距:植金球之间的距离,通常以微米(μm)为单位。植金球的间距决定了芯片电路之间的互相隔离程度,过小的间距可能导致短路。
t: o- s7 }4 y' a! o, n6 o, X! Z6 g% a) W4. 植金球高度:植金球的高度,通常以微米(μm)为单位。植金球的高度决定了球与封装基板之间的间隙,过大的高度可能导致电连接不可靠。8 ? V% l! Y- F# o: `& {
5. 表面处理:芯片表面的处理方式,包括清洗、去氧化和活化等。表面处理是确保植金球与芯片表面之间有良好接触的重要步骤。
7 G8 a, J8 ?/ @& X; J5 n) k6. 植金球材料:植金球的材料,通常使用黄金(Au)或其他有导电性的金属。金属材料的选择应根据应用环境和电性能要求进行评估。
' z l0 o9 E% l% Y7. 植金球温度:植金球的温度控制参数,通常以摄氏度(℃)为单位。植金球的温度对于球的形成和连接的可靠性至关重要。
0 ?& u0 T, j- F& F4 r3 d8. 植金球压力:植金球形成时的压力参数,通常以牛顿(N)为单位。压力的适当控制可以确保金球形成均匀和牢固。
( l' D) [3 @* N1 t6 E9. 植金球时间:植金球形成的持续时间,通常以秒(s)为单位。时间的控制影响着金球的生长速度和连接质量。
2 h2 x) U. W" d+ i10. 温度循环:植金球形成后的温度循环步骤,用于测试金球与芯片的连接可靠性和耐久性。/ P2 s' O' I) P2 L
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三、结论以上列出的芯片植金球的工艺参数是关键的参考指标,通过准确控制这些参数,可以确保植金球工艺的可靠性和一致性。工程师在实施该工艺时应注意监控和调整这些参数,以提高芯片植金球的质量和性能。
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