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电容天线效应问题求助

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1#
发表于 2023-1-12 13:52 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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我所用的是TSMC1p4m工艺,所需用的电容有M3和M4(顶层金属)组成,M3如果接后续电路,不经过处理DRC会报天线。而M4(顶层金属)直接连接后续电路却不会报天线,我想知道问什么,在制作顶层金属的时候有什么特殊的工艺?求赐教6 L0 m$ R$ ]8 T
  • TA的每日心情
    开心
    2022-12-5 15:27
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    [LV.1]初来乍到

    2#
    发表于 2023-1-12 15:10 | 只看该作者
    TSMC工艺顶层一般有RDL和non-RDL两种可供选择。通常顶层金属比较厚一些。至于你说的antenna问题是正常情况,因为用M4代替M3实际上相当于通过跳层来处理了antenna问题。

    点评

    M4是顶层金属,只能向下跳线,向下跳貌似解决不了任何问题啊  详情 回复 发表于 2023-1-12 17:44

    该用户从未签到

    3#
     楼主| 发表于 2023-1-12 17:44 | 只看该作者
    starskyuu 发表于 2023-1-12 15:10
    ' z( A( r3 o2 H: N( G5 H1 u8 ETSMC工艺顶层一般有RDL和non-RDL两种可供选择。通常顶层金属比较厚一些。至于你说的antenna问题是正常情况 ...
    2 o# q. g* p6 {( i) n
    M4是顶层金属,只能向下跳线,向下跳貌似解决不了任何问题啊* ?! k  w) f/ h% j) [* f' x2 B$ r

    点评

    Antenna effect是应对于wafer fab中plasma工艺(尤其是Dry etch)的电荷击穿绝缘膜层导致漏流的风险。控制关键点在控制“上层metal-绝缘膜层-下层Metal”中顶层metal相对于绝缘膜层界面的面积比不能过大。M4是顶层me  详情 回复 发表于 2023-4-21 15:27

    该用户从未签到

    4#
    发表于 2023-1-15 23:27 | 只看该作者
    好东西,好学习呀

    “来自电巢APP”

  • TA的每日心情
    开心
    2023-4-22 15:05
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    [LV.1]初来乍到

    5#
    发表于 2023-4-21 15:27 | 只看该作者
    kaixinjiuhaola 发表于 2023-1-12 17:44
    5 z' \; {5 ]# r, ZM4是顶层金属,只能向下跳线,向下跳貌似解决不了任何问题啊

    7 ?# |3 h" f( B9 \2 IAntenna effect是应对于wafer fab中plasma工艺(尤其是Dry etch)的电荷击穿绝缘膜层导致漏流的风险。控制关键点在控制“上层metal-绝缘膜层-下层Metal”中顶层metal相对于绝缘膜层界面的面积比不能过大。M4是顶层metal的话,向下跳线的做法对于下面绝缘膜而言,M4金属的antenna面积没有改变,也就是antenna的风险不变。
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