光刻胶是正胶还是负胶

kaixinjiuhaola · 发表于 2022-12-1 13:50

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问一下大佬，同一种mask在不同工艺上用的光刻胶是一样的吗？
PM这层在TSMC 55用的是负胶，在0.18工艺上用的时候是正胶还是负胶？

jack_are · 发表于 2022-12-1 14:37

正胶和负胶在晶圆生产过程中，都有使用！

qq666888qqw · 发表于 2022-12-1 15:29

不一定，用正胶还是负胶是由fab决定的

somethingabc · 发表于 2022-12-1 16:08

得分情况

starskyuu · 发表于 2022-12-5 14:55

看场合

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