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湿法去胶出现杂质

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发表于 2022-11-28 13:29 | 只看该作者回帖奖励

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在CVD长SiO2，光刻RIE后，去胶时部分区域像元周边出现彩色杂质，紧贴着一圈。试过O2等离子轰击，无明显改变。

请问有谁遇到过这种情况吗？

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TA的每日心情

	开心 2023-1-11 15:38

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[LV.1]初来乍到

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发表于 2022-11-28 14:58 | 只看该作者

有图吗，是不是胶呀

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TA的每日心情

	开心 2022-12-5 15:27

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[LV.1]初来乍到

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发表于 2022-11-28 16:50 | 只看该作者

试试先轰击再湿法去胶

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