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FPC的蚀刻

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发表于 2022-4-25 14:56 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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在挠性印制板或印制板的生产过程中,以化学反应方法将不要部分的铜箔予以去除,使之形成所需的回路图形的称之为蚀刻。一般常用的蚀刻液种类有以下几种:
  Z$ [$ P% B) K7 P1)氯化铁蚀刻液:
4 P6 S# u9 U2 B在过去氯化铁蚀刻液被广泛使用在单面板和及内层板的蚀刻中,但因蚀刻速度慢(20- 25 u m/min)和蚀刻能力低(35-40g/L),对机器,工筰场地污染,废液没有回收价值等原因现已被氯化铜蚀刻液逐步取代。# _! u0 n1 D6 M. H# d, h% w
2)氯化铜蚀刻液:) p* R5 o$ o, a$ s
用氯化铜、盐酸、氯化钠或氯化铵配成,以氯气或氯酸钠或过氧化氢(双氧水)连续再生,成本较氯化铁蚀刻液便宜,废液也有回收价值。它具有良好的蚀刻系数,.再生控制适当蚀刻速率蚀刻能量不错。但若氯化不足,则蚀刻速度降低,水洗后产生百色氯化亚铜沉淀;若氯化过量时,则会产生游离氯气,极易侵蚀蚀刻机的金属部分。冷却后,喷嘴文常因结晶被堵塞,需常清洗。& ?) x& Z5 }6 D8 X6 x* Y4 W- n& v
3)碱性氯化铜蚀刻液7 r% G1 R- v# V# ?3 o7 ~
以氯化铜、氯化铵、氨水配成;并加补助剂成份如氯化钻、氯化钠、碳酸铵、磷酸铵等,以加强蚀刻液的特性。此蚀刻液溶液稳定、安全性好、蚀刻速度快(可达70 u m/min以上),蚀刻能量天,司达70g心以上,蚀刻系数佳,可达3.5以上,有机及金属抗蚀层除银以外均可使用。" Z& ?$ L, J+ n; i# O6 {$ r, }
各种蚀刻液和抗蚀层的适用性:
5 V, u5 X8 z( F" M
  S! x% y. J- O; w6 t, x/ B2 o- j6 Y3 L! ~4 P4 v6 }' J+ n

% I& }7 {+ W, Z& R9 A
! q5 k8 S2 N+ S4 p蚀刻系数:
9 o; }+ r* ^9 }, t4 D+ H! E" \1 {蚀刻系数=铜箔厚度/侧蚀宽度$ |" \: M# P  g4 y; G' `
蚀刻系数越高说明侧蚀量越少,蚀刻质量越好。7 e3 v  M0 m- |# a  u
一般挠性印制板使用酸性氯化铜蚀刻液加工,就酸性氯化铜蚀刻液详细介绍如下:
- E6 c: s2 F' N0 u/ j) X0 [. l, C& m9 g% v( X+ J: W6 H& t3 B& w2 \: A
酸性氯化铜蚀刻过程的主要化学反应
2 m6 \( j. W$ B4 M) S2 ^1 v在蚀刻过程中,氯化铜中的Cu2+具有氧化性,能将板面上的铜氧化成Cu1+ ,其反应如下:; B4 V8 s1 O0 _% D2 W- T- D
蚀刻反应:Cu+CuCl2->Cu,Cl2
$ I  c8 q7 x9 b形成的CuzCl,是不易溶于水的,在有过量的CI存在下,能形成可溶性的络合离子,其反应如下:8 O; N% @5 k7 F9 P0 f$ u
络合反应:CuzCl2+4Cl ->2[CuCI3]2-
  g+ O# i% m1 U! I( x& s2 g- V随着铜的蚀刻,溶液中的CI1+越来越多,蚀刻能力很快就会下降,直到最后失去效能。为了保持蚀刻能力,可以通过溶液再生的方式将Cu1+重新转变为Cu2+,使溶液继续进行正常的蚀刻。7 H" h5 W! f" m# b7 x
常用的酸性氯化铜蚀刻液配方:
$ v5 b$ Q$ X) }7 ?/ y% Z$ W& P; L# D9 f

1 Y5 t% s% r5 j4 I9 O3 a5 J & ~/ j! B. x$ i8 R5 C8 F) x+ Q

' \, E( e! W8 m3 [: a影响蚀刻速率的因素:
1 O3 R9 l  r/ P0 U3 b0 {影响蚀刻速率的因素很多,影响较大的是溶液中Cl,Cu*的含量,溶液温度及Cu2+的浓度等。
5 y- u$ S: J3 X  U6 S! QC含量的影响7 ~/ Q' s4 C- H0 i
在氯化铜蚀刻液中Cu2+和Cu1+实际上都是以络合离子的形式存在的。一般情况下,当溶液中含有较多的Ci时,Cu2是以[Cu2+Cijr-形式存在,Cu1+是以[CutCI,]2-的形式存在。因此,蚀刻液的配制和再生都需要CI的参与。增加氯离子的浓度可以加快蚀刻速率。添加氯离子可以提高蚀刻速率的原因是:在氯化铜溶液中疫生铜的蚀刻反应时,生产的Cu,Ci,不易溶子水,财在铜表面生成一层氯化亚铜膜,这种膜能阻挡反应的进一步进行。过量的Cl能与氯化亚铜生成可溶性的络合物[CuCl]2,从铜表面溶解下来,从而提高蚀刻速率。
' S6 h2 f* M0 r; ~" a' x5 wCu含量的影响
5 N4 E# g- \5 t- M5 T# `& x根据蚀刻反应,随着铜在蚀刻过程中形成一价铜离子。较微量的Cut,例如:在120g/ Cu2+的溶液中含有4g Cu1+就会对蚀刻速率产生显著的降低。所以在蚀刻操作中要保持Cut*的含量在一个低的范围丙。例如:小于2g/。并要尽快地使其重新氧化成Cu2+。$ |* e/ q+ J3 {
在实际生产中如何控制溶液中的Cu1+浓度?0 m. X6 A# r. P: e: P+ l# R
根据奈恩斯特方程式:E=Eo+(0.059/n)lg([Cu21]/[Cu1+])+ V3 H7 N4 `2 {( F
从上面的公式可以看出,氧化-还原电位E与(Cu2+ICu1+)的比值有关。
4 w+ i7 g; G. Y1 I, [4 c' `  q, A
, j, K, C7 f% T0 a随着溶液中Cu1+的浓度不断升高,氧化-还原电位不断下降,当氧化-还原电位在530mV时,Cu1+的浓度低于0.4g/。能提供最理想的,高的和几乎恒定的蚀刻速率。所以在实际操作中都以控制溶液的氧化-还原电位来控制溶液中Cu1+的浓度。一般氧化-还原电位多控制在510-550mV之间。9 a8 e1 b' c" P" H$ r
Cu2+含量的影响:
/ I& m* P! z" }# y- r. u( f( i溶液中的Cu2+含量对蚀刻速率有一定影响。一般情况下,溶液中Cu2+浓度低子2克离子时,蚀刻速率较低;在2克离子时速度较高。随着蚀刻反应的不断进行,蚀刻液中铜的含量会逐渐增加。当铜含量增加到一定浓度时,蚀刻速度就会卞降。为了保持蚀刻液具有恒定的蚀刻速率,必须把溶液中的含铜量控制在一定的范围内。随着溶液中铜含量的不断增加,溶液的比重也随之增加。在实际生产中采用控制溶液比重的方法来控制溶液的含铜量。在生产中比重一般控制在1.28-
  e* `/ z0 ?7 N( g% I! D1.295(31-33° Be),此时的含铜量大约在120-150 g/之间。温度对蚀刻速率的影响:
- I& i5 a7 s, L  d7 Z, O随着温度的升高,蚀刻速率加快。但是温度也不宜过高,一般控制在40-55℃范围内。温度太高会引起HCI过多地挥发,造成溶液组份比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。
6 K! K4 _9 X% F! n9 C2 ^; O# A0 {* m& f7 ?0 F& t+ ^; y

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