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失效分析是一门发展中的新兴学科,近年开始从军工向普通企业普及。它一般根据失效模式和现象,通过分析和验证,模拟重现失效的现象,找出失效的原因,挖掘出失效的机理的活动,在提高产品质量、技术开发、改进,产品修复及仲裁失效事故等方面具有很强的实际意义,其方法分为有损分析、无损分析、物理分析以及化学分析等。0 _6 s1 ]# l1 O+ h- U5 Q* I
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! s' s5 {1 m% F6 b" O( _2 _8 J为生产部门提供及时、有效的分析结果是平时失效分析工作的重心,如何能准确地找到产品的失效原因是实验室工作的一大挑战。作为从事失效分析超过10年的从业者,下面我将从质量管理的几个方面结合自己平时的工作经验谈一谈如何提高并保持分析结果的准确性。- B2 e: Z, ~& H$ q1 d8 g- _/ U
0 P* G5 i4 w# ?第一,人员的管理。作为失效分析实验当中的主体因素,人的因素贯穿着从失效样品进入实验室到反馈实验结果的各个环节。
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首先,人员的知识和技能培训极其重要。从事失效分析工作,必须要有良好的半导体知识背景,而由于半导体产业发展的日新月异,新技术不断涌现,必须要对实验室的员工进行定期的培训以跟上知识发展的步伐。同时实验室又是一个需要很强动手能力的地方,员工的实验技能、技巧至为关键,需要对员工进行这方面的持续训练。其次,安全意识的建立和加强。失效分析实验有一定的安全风险,必须抓好安全生产这一关。
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. L" D; d/ i& {$ M* `1 Q3 @/ h0 ]0 m6 u' C第二,实验机器的配置和保养。失效分析的技术也是时刻在发展,作为实验室的管理人员必须紧跟时代步伐,对业内新技术新方法的出现保持关注,更新老旧的实验机台和方法。要保持实验结果的准确性和有效性必须在平时对实验仪器和工具保持良好的保养,正所谓“磨刀不误砍柴工”。2 q* K. g$ f/ S1 _( k
% m- F- w. K1 h" U, P第三,实验耗材的有序管理。实验耗材的摆放必须有序,这样使用的时候不至于手忙脚乱。每件耗材都要登记和统计用量,这样可以了解耗材的消耗趋势,定期购买,以免耗材不足造成正常的实验无法及时开展进行。" U& |8 h& ]% e1 l9 g
4 f4 ~+ G- z( h* C4 B第四,实验报告和结果的统计。实验报告是实验室最终的工作结果,每一份试验结果都要登记,从而对每一种失效模式进行统计,以便日后参考,或者产线需要的时候提供趋势的支持以及规律分析。笔者就工作中的实际案例来具体谈一谈。: ~* E6 p# N3 O
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在去年下半年某客户的产品经过FT(Final Test,最终测试)测试后,其中一种失效模式突然异常增多,客户要求该产品所有批次的该失效模式都要做失效分析。一时间,实验室的工作量急剧增多,并面临着人手不够和机器安排冲突等情况。5 p9 G4 r3 ?" F. P
, t* ?; ]' [) O1 n1 }" V5 ?( b针对这种情况,我们首先对相关的工程师和技术员进行分析前的培训,将该事件的历史、失效模式及失效分析的手段都做了交代;其次,对所需要的实验机台实行了预约制度,再次对所需要的耗材,提前进行清点,对缺少的耗材紧急采购;最后,将每一份失效分析的报告进行汇总,并统计出各种失效原因的柱状图。最终,很好的解决了这次突发的异常事件。1 U+ [9 i+ M/ I; ^) @" k
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总之,提高失效分析实验结果的质量是一个系统性的工程,需要从人、机器、物料、结果等诸多方面进行归纳总结,运用质量控制的手法可以得到事半功倍的结果。
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