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案例1 FIB-SEM观察HDI电路板盲孔镀层冷热冲击后存在盲孔底部裂纹异常: O, v+ N0 m5 h6 o
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7 d6 l, t+ f6 r+ X; Z7 A针对线路板PCB冷热冲击测试,并检测电阻变化,对镀层可靠性可通过氩离子抛光-CP离子研磨或者FIB切割观察镀层间裂缝,镀层开路,孔壁分离等不良缺陷,为PCB板厂工艺选择指明方向。8 x) e/ ~ u, e) C+ d* g( n
& u: A7 u/ M% G) i2 |7 r& JPCB镀层晶格分析
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A2 q8 }0 I- N7 q案例2:线路板切片制样通过氩离子抛光后,场发射电镜SEM可观察不同镀层的形貌,可直观判断镀铜层是否存在“柱状结晶”等严重影响镀层热可靠性异的结晶状态。也可观察不同镀层间是否存在“空洞”、“裂纹”等不易监控到的异常。 ! u9 q& {! J& q, S2 I/ J5 m
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氩离子抛光切割机/CP离子研磨截面抛光制样原理:氩离子切割制样是利用氩离子束(〜1mm)来切割样品,以获得相比FIB制样(通常十几微米)面积更大的电子显微分析区域。其制样原理是用一个坚固的挡板遮挡住样品的非目标区域,有效的遮蔽了下半部分的离子束,创造出一个侧切割平面,去除样品表面的一层薄膜。 7 R; v$ O4 Y3 Z9 R8 u: @, G) t
氩离子抛光技术又称CP截面抛光技术,是对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。
{& ]' S! f" s3 y![]() 点击图片可以进行氩离子抛光测试介绍
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4 N8 F/ T, _' _) s4 R聚焦离子束显微镜 (FIB-SEM)测试: 聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。其应用范围也已经从半导体行业拓展至材料科学、生命科学和地质学等众多领域。为方便客户对材料进行深入的失效分析及研究,金鉴实验室现推出Dual Beam FIB-SEM业务,并介绍Dual Beam FIB-SEM在材料科学领域的一些典型应用,包括透射电镜( TEM)样品制备,材料微观截面截取与观察、样品微观刻蚀与沉积以及材料三维成像及分析等。 ![]()
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