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众所周知,半导体产业象征一个国家的软实力,放眼全球只要是经济强国基本都在半导体领域上有着一席之地,而近年来我国也一直在发展半导体产业,只不过以往在制造方面总是依赖于进口外国的光刻机,但现在中国也有能力生产自己的光刻机了。 据中国芯谷报道,福建安芯半导体科技有限公司继上月交付一台光刻机后,近日再次出货一台光刻机,交付给国内某研究所用于 CMOS 领域研究,两台光刻机价值近两千万元。 - h/ A L* C* b$ z
( ]: w; G. A! Y( o4 h- V$ O% f/ G据了解,福建安芯半导体科技有限公司母公司为北京新毅东科技有限公司,它凭借多年积累成为二手光刻机翻新领域的国内第一大企业,并逐步替代NIKON光刻机的核心单元,开始自主研发全新步进式光刻机。据福建安芯半导体总经理张琪表示,虽然安心半导体尚不能完全自主研发,但通过改造、提升,已经实现了60%至70%的国产化。 光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握,如ASML、尼康、佳能,因此光刻机价格昂贵,进口也不易。
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就连我国半导体巨头企业中芯国际也需要从国外进口先进的光刻机以满足生产需求,据羊城晚报报道,3月4日,中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区,这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。 除此之外,中芯国际还准备从荷兰阿斯麦尔(ASML)进口最先进的极紫外EUV光刻机,只不过受美国阻扰,荷兰ASML至今仍未获得出口极紫外EUV光刻机的许可。
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7 i/ K$ Y* L6 v; _9 T7 u值得一提的是,韩国知名半导体企业三星电子也会因为缺少先进的光刻机而延迟生产。据观察者网报道,三星原计划在2021年初量产3nm,当前疫情对物流和交通运输服务造成了影响,导致3nm工艺所需的EUV光刻机和其他关键生产设备的交付延期,进而导致了量产的时间推迟,使得这一计划不得不延期一年。 由此也可以看出,我国光刻机国产化的重要性。所幸,在我国鼓励半导体发展的政策下,近些年来中国半导体也开始取得了突破。据第一财经报道,4月13日,长江存储宣布成功研发两款128层闪存产品,并且均已在多家控制器厂商SSD等终端存储产品上通过验证。
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存储器约占全球半导体产值的三分之一,市场高度集中,2019年第四季度,国际巨头三星、铠侠、西部数据、美光、英特尔和SK海力士六家占据了全球99.5%的NAND闪存市场份额,而长江存储研发的128层闪存芯片,对于提升国产存储器份额有着至关重要的意义。 还有中国芯片代工龙头中芯国际也于2019年底直接建成了国内首条 14nm芯片生产线并开始正式投产,比之前定下的2020年投产目标还快了一年。有分析认为,中芯国际此举加速14nm芯片的量产,将有助于国产芯片发展。
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