TA的每日心情 | 开心
2020-8-28 15:14 |
|---|
签到天数: 2 天 [LV.1]初来乍到
|
EDA365欢迎您登录！
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
摘 要： 采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型，阐明了具有埋层结构电介质样 品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性．模拟结果表明，被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布，从 而影响二次电子特性．随着电子束照射，样品表面沿着深度方向的电场强度增强，更多的二次电子返回表面，从而产生 图像衬度．图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值，而随电子束电流的增大而增大，模拟结果与实验结果基本一致． 1 C% z- _! F, \& D6 m
* C) v! O. ?* s- x, A, l" B% p0 K. n
关键词： 电介质；埋层结构；扫描电镜；二次电子电流. R# Q+ X( i# a2 u, J
5 p! A- h9 m! ]" p
5 i" @' u4 Z5 {/ R' ]/ I
, @- t, }% y2 ?; U2 |" _2 V. Q! ]- q- l 具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性 是目前电子显微领域的重要研究课题．在现代微电子器 件的生产过程中，为了对器件进行生产中的筛选，需要 对这些覆盖了绝缘层的半成品和成品进行检测，特别需 要检测样品埋层结构信息，特别是不能损伤样品．扫描 电子显微镜是目前进行样品分析的常用仪器．扫描电镜 通过接收电子束与样品相互作用产生的背散射电子、二 次电子等信号，可以对样品进行形貌观测和成分分 析［１］．然而，低压扫描电镜常用的衬度模式无法观测内 部埋层结构［２］．) e1 D8 i) j0 A+ v5 B+ K& _
( [* z0 R8 @7 O7 m1 P& A% Z
& m; c/ h7 @& p) i附件下载：
具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性.pdf
(2.54 MB, 下载次数: 0)
0 X( F* h/ j( Z |
|
/1 
发表于 2021-2-5 13:39
收藏
淘帖
支持！
反对！