具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

senlenced3

摘 要： 采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型，阐明了具有埋层结构电介质样 品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性．模拟结果表明，被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布，从 而影响二次电子特性．随着电子束照射，样品表面沿着深度方向的电场强度增强，更多的二次电子返回表面，从而产生 图像衬度．图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值，而随电子束电流的增大而增大，模拟结果与实验结果基本一致．

4 ]# d( p3 V7 l9 W关键词： 电介质；埋层结构；扫描电镜；二次电子电流

9 r% `& s9 H$ V3 B( V  h# r

0 C7 [: C- p+ Q( i4 p( ]* ?      具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性 是目前电子显微领域的重要研究课题．在现代微电子器 件的生产过程中，为了对器件进行生产中的筛选，需要 对这些覆盖了绝缘层的半成品和成品进行检测，特别需 要检测样品埋层结构信息，特别是不能损伤样品．扫描 电子显微镜是目前进行样品分析的常用仪器．扫描电镜 通过接收电子束与样品相互作用产生的背散射电子、二 次电子等信号，可以对样品进行形貌观测和成分分 析［１］．然而，低压扫描电镜常用的衬度模式无法观测内 部埋层结构［２］．
5 L1 `+ [4 r) t) _' N

附件下载： 具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性.pdf (2.54 MB, 下载次数: 0)

2021-2-5 13:34 上传

点击文件名下载附件
下载积分: 威望 -5

weqewq

二次电子电流