电容式MEMS技术与气压传感器

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电容式MEMS技术与气压传感器

        气压是指大气在某个给定点对物体施加的力。气压的波动通常是天气状况变化的标志。气压也会随高度和湿度的变化而改变。静压是指物体不移动或匀速移动时表面所受到的压力。动压则是指物体运动时产生的空气压力。空气在各个方向上对你施加的压力是不同的。由于守恒定律，压力会随着速度的增加而减少。总体气压，包括静压和动压，就是当你面对风时，空气与你的身体碰撞时对你产生的作用。

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       有许多不同的方法可用来测量空气压力并计算海拔或风速。基于动态气压传感技术，开发了先进的运动监控应用。例如，微电子机械系统（MEMS）技术被用于生产测量空气压力的小型传感器，它可根据压阻效应监测气压。比较空气压迫气膜产生的机械应力和膜片下腔室的参考压力，便可换算出气压值。

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       这种类型的传感器在便携式气象站市场非常流行，达到mBar等级的气压分辨率就足够了。不过，这种类型的传感器具有非线性的温度响应，因此需要更复杂的校准。此外，由于较高的噪声水平，这些传感器不能涵盖所有要求低压噪声、快速瞬态响应、温度稳定性和低功耗的应用。电容式MEMS技术则提供出色的压力噪声，有非常好的压力准确度和低功耗。

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       电容式MEMS技术为运动跟踪应用提供更好的性能。压力测量是传感和参考单元之间的差分测量，可提供更好的温度稳定性和低压噪声。传感器单元的功耗是电阻式传感器单元桥的50%或更少。先进的运动检测应用可以利用电容式传感器技术。仅使用压力传感器就可以检测出行走或攀爬等身体动作。

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电容式MEMS技术与气压传感器。