半导体器件物理与工艺（很经典实用的资料）

Allevi

很经典实用的资料，有需要的可以看看。
半导体器件物理与工艺的主要内容：
第一章 能带与载流子浓度
第二章 载流子输运现象
第三章 p-n结
第四章 双极型器件
% B7 k! O+ f! }# e! q第五章 单极型器件
4 @! n8 a  \4 G, N' W7 v第六章 微波器件
第七章 光电子器件
5 c8 y+ H9 \& h8 W! ~第八章 晶体生长与外延
第九章 氧化与薄膜淀积
, f, Q7 H/ A. a& g# G+ A第十章 扩散与离子注入
3 b: n8 H' _4 W' E! W第十一章 光刻——图形曝光与刻蚀
$ }  ]) a7 I$ p+ ?$ j- }0 R* ?第十二章 集成器件
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