基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究

Taio

基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究

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: _/ {* g& w8 |1 G# U  z可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节。最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器。
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