ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现

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ITO薄膜激光刻蚀设备匀光系统的Matlab实现
: p! R4 E; I) j! g1 D7 g% R) t' I触摸屏的广泛应用，ITO导电薄膜受到人们的重视。而紫外激光的波长短、能量集中、分辨率高，因此在去除焊料外壳、在电子线路板上钻微孔、在薄膜或薄片材料中制作微通道、进行精密切割和对接等微加工领域具有广泛的应用。

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5 ]% m9 [! F# q9 j  ]% x+ y. [8 {ITO薄膜激光刻蚀设备正是利用紫外激光器的高能量特性来对ITO薄膜进行冷加工处理，在薄膜表面制作微细的通道，完成图形的制备。与传统的湿法光刻技术不同，它不需要事先在薄膜上用光刻胶形成掩模，既简化了工艺流程也不会造成环境污染。本系统刻蚀的线宽在几十微米，属于激光微细加工技术的范畴。在加工过程中由于激光能量的高斯分布特性，在物件划槽截面形状为椭圆或类三角形，影响了ITO导电薄膜的性能，进而制约了液晶显示行业的发展。本加工设备中自行研制了一套激光微细加工的匀光系统，使激光能量分布均匀，呈现类似的平顶分布，很好地解决了上述问题。与市场上已经成熟的光束整形器件相比，匀光系统有相对的优势。

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