找回密码
 注册
查看: 535|回复: 2
打印 上一主题 下一主题

单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

[复制链接]

该用户从未签到

跳转到指定楼层
1#
发表于 2019-1-4 06:30 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

EDA365欢迎您登录!

您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册

x
单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计
. D, l. o! C3 C2 T  K! k

- |. }8 S- e7 o0 a3 O

1 引 言

单片集成是MEMS传感器发展的一个趋势,将传感器结构和接口电路集成在一块芯片上,使它具备标准IC工艺批量制造、适合大规模生产的优势,在降低了生产成本的同时还减少了互连线尺寸,抑制了寄生效应,提高了电路的性能。本文介绍的单片集成电容式压力传感器,传感器电容结构由多晶硅/栅氧/n阱硅构成,并通过体硅腐蚀和阳极键合等后处理工艺完成了电容结构的释放和腔的真空密封。接口电路基于电容一频率转化电路,该电路结构简单,并通过“差频”,消除了温漂和工艺波动的影响,具有较高的精度。

游客,如果您要查看本帖隐藏内容请回复

$ j2 L  p! g3 N8 R5 x3 d5 g

/ g$ |6 ]& ^) U' r' W# }7 p

该用户从未签到

2#
发表于 2019-1-4 10:19 | 只看该作者
看看接口设计
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

关闭

推荐内容上一条 /1 下一条

EDA365公众号

关于我们|手机版|EDA365电子论坛网 ( 粤ICP备18020198号-1 )

GMT+8, 2025-5-29 23:32 , Processed in 0.078125 second(s), 23 queries , Gzip On.

深圳市墨知创新科技有限公司

地址:深圳市南山区科技生态园2栋A座805 电话:19926409050

快速回复 返回顶部 返回列表