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晶圆的制造工艺倒不是很复杂,其难度在于全球IC采购网qic.com.cn半导体产品对晶圆的纯度要求很高,纯度需要达到99.999999999%或以上。
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2 M0 Q" Y) l8 o以硅晶片为例,硅从石英砂里提炼出来,在高温下,碳和里面的二氧化硅发生化学反应只能得到纯度约为98%的纯硅,这对于微电子器件来说不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度非常敏感,因此需要进一步提纯。
; b# z$ T, m) T# m而在进行硅的进一步提纯工艺中,光刻技术的难度很高,在晶圆制造工艺中,光刻是必须经历的一个步骤。8 ?# p: s& W( O( C
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光刻工艺是晶圆制造最大的“一道坎”1 A! F5 M+ K* ^1 F1 |+ I6 |% J$ L% X
晶圆制造中的光刻是指在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
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A( I( w# {; k" {: {' G1、光刻去薄膜是晶圆制造的必经流程' b- O; Y0 _- X9 ~& u5 Y) M0 T
由于晶圆生产工艺中,其表面会形成薄膜,这需要光刻技术将它去掉。在晶圆制造过程中,晶体、电容、电阻等在晶圆表面或表层内构成,这些部件是每次在一个掩膜层上生成的,并且结合生成薄膜及去除特定部分,通过光刻工艺过程,最终在晶圆上保留特征图形的部分。: v" N. ?! o. b
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2、光刻确定尺寸,马虎不得
; p. Y0 u- L: R$ Y, u; B光刻确定了器件的关键尺寸,光刻过程中的错误可造成图形歪曲或套准不好,最终可转化为对器件的电特性产生影响。
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, `4 v0 z t! M7 v4 u H3、高端光刻机产能严重不足$ I+ k' \4 U% P" j% z# s* u
光刻机也叫掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,常用的光刻机是掩膜对准光刻。光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。目前光刻机市场,以荷兰、日本的企业为主力军,全球能制造出光刻机的企业不足百家,能造出顶尖的光刻机的不足五家,在高端光刻机市场,中国企业几乎全军覆没。4 N; K8 T" j# |
$ L5 B" F3 J' { J1 {15家硅晶圆供应商垄断95%以上市场
9 f4 n/ j: D& m正是由于晶圆制造难度大,客户对纯度与尺寸的要求很高,全球的主要15家硅晶圆供应商垄断了95%以上市场。4 g) x" } b! f2 _$ I4 X( w
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