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Semiconductor technology handbook. m/ @, {: Z( R! C7 B
- T9 M8 ~# ^$ J& p, f" b. q2 W9 M由Technology Associates出版
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中文版名为 半导体器件工艺手册
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) x$ S) o( Z8 I' R' j里面有 Wafer Fabrication Process 中需要用到的# w7 k4 o3 V4 b. v8 I* e0 n
很多变量关系曲线，很有用的。
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- n- \& Y7 h: c+ D: |1 d之前一直在找英文版的，* ?& A9 X( x/ y* \# P
结果误众副車，4 A5 l0 x- c* y1 l( t/ O# K# i9 s
现将中文版共享于诸位。9 b( L, ~& Z, t5 B
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发表于 2016-11-16 11:24
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