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前的准备:
$ R+ P' j3 G3 M6 n; N9 F1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.; e7 P! B- |* O; U ^* Y j
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
% E2 c7 \( Y2 o0 A! C3 布局前考虑好出PIN的方向和位置4 G Z3 t7 N. x) N$ [
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
( @, a' m5 j. G6 B( q- C5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。2 {3 H, N& j& S4 y6 z( K
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
% ^) |" p, u2 ~& B& }7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
- H, m1 |( t7 r# @: m8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
+ s; p. d7 n1 ?+ K+ |9 将不同电位的N井找出来.
) w- m( d3 f* H* E T5 F
' L0 C: O7 i% H- n, O布局时注意:" e0 X9 ]9 t$ e- h# B: J6 R
10 更改原理图后一定记得check and save$ U/ a9 I4 x1 a" H
11 完成每个cell后要归原点
$ ~% e9 p& z. B/ L, q% o) z12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).. V- r+ V3 F* `0 k0 f
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。3 ]5 E; v! M) h" L# B" K& s
14 尽量用最上层金属接出PIN。1 G# v a3 c& F) t$ X5 j4 q5 R
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
% @4 i$ E0 f7 p8 S9 w1 S$ I16 金属连线不宜过长;
8 t. U0 l6 @/ z5 [17 电容一般最后画,在空档处拼凑。- T; w8 B7 \; Q( D
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.4 Q) E; T' }0 }. j) ]% G7 ^% e) V
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。& D, T3 s- b7 r0 W1 k$ A5 F$ M
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
9 f2 z& {/ W% N1 p. j. G7 d0 {; h21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.' N9 j+ d6 } H, C4 r" ?; B ^- P
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。8 e$ J3 p! ~* `
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.: |# i' V0 `$ K
24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
* H1 C2 J* u, i" [25 一般打孔最少打两个
A# S; ^* ~5 k& N26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
% a; O' `# _$ ~' V27 薄氧化层是否有对应的植入层
* g2 g U$ x6 P9 P28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.0 t3 o! I, N9 V6 F8 q
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度0 S* O1 @1 i2 V: h9 B
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
J9 c; Q; z* a/ ]+ M% V3 @31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。* V$ W; F1 U% R
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造./ A. Y0 M- l' x5 m5 \
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
0 i5 E' p; ` E* o2 ?% _' F34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
' v0 n! ] N( s' v; D9 T35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层: L# N" k: R. _* p) n
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.0 W+ X/ _8 @, T$ M2 x
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
8 X- G) p! O7 c- F38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
t( E& n6 Z( X) M39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。, M# W4 g( _5 i% I7 o$ `
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
6 ^* I* {" J' m, X( ~41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
; _9 I( s, m O B42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.; \1 j- q8 Y+ I( ^' Q% C1 O2 I
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
: z: P# d" [4 [ u2 @. g G44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.# R( N# D$ X6 S% G
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
0 }/ O" U% Y0 _" U1 M46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。4 r5 Y# ?+ W$ W# U G
1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
" Q7 O. a! j6 P0 i; p& p2 B 21
# l( R E$ X a2 I: A中心匹配最佳。" c, b: f; _5 F+ m" V+ }
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.% q3 t0 f: ]+ v' [6 i Y
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
) b: f0 x1 P! F% Z+ B7 v. C49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。: `8 s3 A2 ^0 Q+ Q
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面., {. O. Y& q4 T/ z
51 05工艺中resistor层只是做检查用
! E! H' O8 W3 p! [9 w& S52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
5 w8 n: a X/ t53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.9 s/ C* J U# g7 p# N
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。, ^' z" p# a; X1 u
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
2 I8 T$ [% x: i# y56 关于powermos) P- b' {( i, d* I6 i2 O9 e9 e
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
0 @& h- X& q& [% {* ^5 n② 几种缩小面积的画法。
6 ?5 ]: S. e2 ~( w5 t③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um2 r+ J2 W! R% e' {
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况). i' I; k& V+ p
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向5 W0 B* H5 Y3 r, S$ A7 J
59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.9 A: k* `; J3 d
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
' X6 I+ D. K6 {; e% p61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.# i" M2 g$ [! a2 P+ n$ _
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点." ?- i* y4 H# j# V: G- l6 g
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.! D( J0 p7 t4 F' h0 [1 `
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)+ o% v3 G* n- J- U' \
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
0 B' @0 P( m5 P% p$ k6 O3 j: _66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
; i) A. a! M# g- X67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联, X8 V5 j1 ?* M, |$ t, a4 Y
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.2 r; `+ o( `* `
6 [/ a& p2 B8 s( C* q9 k+ C出错检查:% d3 K" J# ^' Y* w
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;- R$ s0 D' H7 }8 |6 n
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX6 Q. O* d% ]& j: Z% f
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。6 C, J( B5 L4 [( [& V
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。# }% Q4 ~9 f) w
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起/ g8 D# D0 j) C% k7 ]. r
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端# w {2 K. B4 w8 ]. M/ R
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
- N8 ]3 m6 K9 S" b& E B76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
5 b* m+ J' S7 G( J3 x77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
1 L& L0 \$ ?) j/ n78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
, g7 ~, L5 R; @8 m8 r: R79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
% |# v9 F- \7 s M8 T9 g( T- {80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
m* D" a6 j) O `& a, x; a0 P4 L+ m' @81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.2 M0 ?, v! f. w+ r6 f" e# U
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
! H/ f, j0 l7 f% p* X/ S. V83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.7 a; ~- o+ T0 X9 C
+ ?. T, A2 S" W1 ^容易犯的错误5 F+ O$ \6 M) H) n( v9 U6 n, ^
84 电阻忘记加dummy3 X- r; u6 J# G& r0 O$ e
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏. r/ ]. p* o% l8 u
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.! z( t; n; x$ c2 G% O3 K; @
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
! K2 j) d3 s% u88 是否按下capslock键后没有还原就操作
3 ^9 c( l% P+ a, [) k8 F$ Y' a& ^; X0 d$ |- U/ A0 ?) ?
节省面积的途径5 C5 e" n0 ?& y. ?! s
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
# V* F! W9 n# [" a' Z1 u2 r) ]7 F& c90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
' Q% q' L3 l- ?91 电阻的长度画越长越省面积。
" H8 j6 s; \2 a0 T' _92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.2 t( m! K$ B0 ]2 L3 }$ [' ? t
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。( E! T. [: u* w9 \1 Q
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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