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前的准备:, Y, X3 j" L1 ~9 n3 m$ |
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.; v; M' q# I. {# P
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.+ z T( ]( K0 h. U
3 布局前考虑好出PIN的方向和位置0 c( v: Q+ m5 m) b
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
1 z- C* ^. T# z3 E( o5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。: f; r5 r. F4 j6 p
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
" r" a. w7 z* l4 Y7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
: y' v+ |8 X" q8 b: }8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
8 T t2 w9 F1 \+ D7 M+ j9 将不同电位的N井找出来.
8 s1 P4 m4 k: j4 m. p' B: I. ]. Y& P g, p* W/ r- a! X$ ~
布局时注意:
8 W2 A+ |: L0 v$ x% N10 更改原理图后一定记得check and save; I! F: @; q) E) K3 [2 k: }
11 完成每个cell后要归原点
7 j+ B% {4 g; M2 ?1 h# d) ~12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关). ~4 g7 a/ F2 X7 V$ Z
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
: R9 e3 y' _0 L7 w4 T$ l5 G( c1 X! C% f14 尽量用最上层金属接出PIN。
# p+ L8 r( y- }1 c% z" B Q15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
) H* Y) Y" t5 C) n9 C16 金属连线不宜过长;7 T4 e- t0 q4 Q! b4 \+ d" O! r
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。: h* ?8 j9 Q* u+ H* U9 c
18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
9 V; B; ^7 W0 P( \+ W$ _1 ?8 s19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
8 \$ Y; g1 Q: l7 r ]9 V) ?! ?. W20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.# Q; G2 E- P5 G8 b! N4 j" D1 y
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
( @+ ?# ~$ o4 ^2 e) {. p Y/ j22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
: t" V9 p# y' w+ B23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
7 V; x x3 j; i$ i: X9 [( U24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
) u1 [4 B( S/ a0 j. C$ _25 一般打孔最少打两个
1 X& e- e P( [3 S, V26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.. v, }1 H: H( q% Z$ |# l/ m
27 薄氧化层是否有对应的植入层7 T0 X8 O* M! V" ]1 W( ~; h/ l
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.6 _% x6 r2 V: ^+ Y' ]5 S, I1 f: M
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
: \& ] L; |5 R" |# r30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。+ k& ?; R. F4 A1 z t4 c
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
4 X& ?$ X2 {2 c& L32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
s2 ]& \) K) _* o: r33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。$ i& F9 u" h& h1 o8 k
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.7 R5 s* U) Q+ w
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层' M9 u# i# o8 `5 z% ]
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
_% F/ t/ U) y) x37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。( c# @) s* s5 m8 U
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
0 u2 I6 C1 P% k- S! _2 a' R; n( H39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。 q0 C: ?1 G! N: l/ w
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.% z+ X% v2 t+ Y1 G% w! f
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。# Y2 U2 s, }$ j( \. ]. T. Z
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.6 H% |8 P3 H5 s$ T& x% Y, w
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
3 q! r" t' [( @0 w6 _ X! Q44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
+ O- ]! D" R9 i* h' G7 y" o& Z45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
) y: r$ t8 c1 Y* R- F3 v46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
3 l' ?4 N3 {$ T1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)# x& Z2 V6 p- ?/ W
21
1 R, S, H0 H5 z+ J! M J中心匹配最佳。' o! m0 O8 C) c3 J
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
/ |1 X- g- D. k! U$ d48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.! G! r2 F R! c1 u
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。' f" f. [" o4 b W/ V5 M
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.3 N4 u- q. K1 y5 n( q; k6 w7 }
51 05工艺中resistor层只是做检查用
+ `5 d) a1 v$ p9 W1 J7 @0 M' A J9 e52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
; j& |3 ^6 d$ m8 }$ S o53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.: q, d$ [% D7 {+ R5 u# G2 A1 @( p
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。
2 ^6 @) T* a4 H+ @2 Z' }; _. F1 [1 S& U55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
2 F2 h) O$ `$ B56 关于powermos
' }; g5 k0 a& h* ]2 S' {# r① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,, v0 @2 Q1 f; E! J1 ?7 W. x: [
② 几种缩小面积的画法。
1 O) G m* D* k+ @③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
; Y0 @# [# k1 D. z) {57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
" ~2 i- H. d2 u$ \58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
& O6 b1 d k/ S$ f( b59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.) K0 _5 m( t3 L. s. I
60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。
; C/ y- ~9 t W. g61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略. O/ l( w" A1 b; A
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.( I/ @: T8 m* i6 {. Z! M4 ]
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
/ L. t: T2 Q6 A; ]" q' W64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)" G ^% a) z7 F* g" e/ f# A
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.5 n7 I/ t$ C- q
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.$ `& M! v; `" @8 B! r. `% Z& H
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联" M: y6 C) H/ e
68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.: T5 [$ n q0 O/ D+ b! a
3 n# F+ Q- ~. Y) r. Y4 z4 ~
出错检查:# _0 h7 }/ |$ f* g4 r
69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;
# ] F% j' w! z. ~/ q70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
' @. g0 D, ~$ k: z71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。. v4 O. h0 C/ r4 U ^: i
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。, n1 C' ?: b+ b. C1 z! d& U
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起# i% W# {8 y! g( A# p4 T
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
' F' m) ^6 V" O" T) w75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.) `: A& h- f# N+ p" ~5 P
76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. J" l$ q) w' C
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
$ v: g! x. g0 s# y7 N; b78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
/ i2 T6 N- h, s7 M3 ^ ]2 i8 C7 Z79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.3 f+ z, i( e, X9 n! w+ }: s9 s
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
; c: k- g0 p! E5 c1 F- F$ w81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
1 t7 ~4 A9 k' z* j82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
- |4 W/ F& C3 e! e( V83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.: z6 b8 u7 h$ s# q, v2 r
3 Z% P' D9 z& f2 Z4 q7 b) {容易犯的错误
) y, O/ j- R* Q, \4 @3 {) |84 电阻忘记加dummy5 p! v6 R I6 u. i0 j2 t
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏., l" m1 p6 b: c1 S4 S1 }: u* ]6 j
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
5 n) L9 }- s$ `7 q' ~1 ~6 t87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
. |9 _5 W. g6 m5 ~6 @ E88 是否按下capslock键后没有还原就操作
/ f' h) u% R* R) n- v5 z& t
0 Z0 _& s0 R! g' q6 Y. ]4 u- }节省面积的途径
6 u4 R% I- {7 m2 S; z* {3 p89 电源线下面可以画有器件.节省面积.# H, o2 o+ j' y! r3 H, J
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
) h' R9 @/ c; a' z5 t91 电阻的长度画越长越省面积。
Q$ C1 i8 J) U* w& ~0 C/ A92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
3 W* K- |, b8 U6 y0 D93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。
+ d/ c$ E, F# G7 @94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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