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前的准备:4 r! y, p# Q$ v) G& y
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
. w* Z" z5 z. Y0 `8 G2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
" L6 a: Q { b4 R# }. s/ n3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
* t# H7 s- b5 X4 e( v! {4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
G" X. N( Y6 P3 v# _5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。4 z* C& c2 Q9 u3 `- N/ S
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
2 k3 y4 F* [- p' n7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.2 }1 p$ J! |9 `) w
8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.& N; ^. ?: i( Q
9 将不同电位的N井找出来.; d* m7 K4 U9 M$ Q
$ Z' ?5 n" m/ q2 X/ a& u% G' F$ o' w
布局时注意:
" o V. I! t! P" i) f10 更改原理图后一定记得check and save h* |& Q2 `" |& [: e2 h
11 完成每个cell后要归原点
+ _9 x1 q# ]5 r& v12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).) U+ |, O% R/ [1 X$ A
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。
6 h. O4 ]2 v& R7 h6 H6 p& H14 尽量用最上层金属接出PIN。
& S8 g* W, b- S# z15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.1 e3 }/ ~! L4 q* ~
16 金属连线不宜过长;
# T7 h Z4 Q) N4 c5 Z' S w6 R2 U2 ?17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
5 l/ \0 H/ a! U6 Z- d- \18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
- L. P( H" m& x1 B; G' G19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。
' [* H% H! G: ~, c& p5 A20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
% O: K4 X4 T; P$ \7 Z+ z+ g21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.8 J i% L: ^: ?: k' \! P' [* H
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
4 w0 v% O3 }# A x2 W! [. C) P" k5 b23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
3 ~. S9 N5 y( `/ Z1 Y24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.: |( L5 Y+ R) o1 ]6 _0 i
25 一般打孔最少打两个
2 _( `1 n" M+ j+ H26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.* p# W/ c. I# f8 Z
27 薄氧化层是否有对应的植入层7 ?& ^8 P3 j v4 r, c' g
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
5 g2 z. \+ X. }: e) F+ o) V29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
4 A" I% I/ W0 c) Q+ t3 W30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
6 Z# N* k6 b E31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。# ~6 C9 y1 d) `: J7 \# z
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.7 O1 W: _' t) J, V. {( }
33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
6 X! o; l% L5 K: D% ?2 N* y34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
7 s" @: b! ~% p, g4 d" p35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层
7 Z+ j* |+ O; p1 a' I# r3 Q36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.- s; O6 K+ d$ ?4 a6 N
37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。0 n, I4 y7 F& v
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。7 g- c, `/ M- w6 q) a8 l# J4 K7 B
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。 @+ Y7 _& F& F: j' u3 h
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.6 Y) g8 p7 ?0 N! M$ ]: K
41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
* t, K6 i* A! e5 b( p2 F. Z) ~42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.+ V9 U/ g- c2 ~8 s% n
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.# X1 B t9 {" ?" a0 L; O
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
- t: w% s4 Z3 i+ t45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.8 F; ~; ~+ d9 ^7 T: D) q% ]
46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
0 W! W% e1 N; Z& I Q; O" C% K1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
% l$ S) Q" D) z5 J* K1 J 211 p- r) X X: m5 l) g& P
中心匹配最佳。8 ^! G9 Z' w8 j' i: o
47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.4 J P9 ?& T0 `- E; A
48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.. I# }1 y) m5 v) @( X g
49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。+ C* v. u9 r- {; \$ A6 c0 P/ ?# P) t) F; d
50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
8 f' ~' U& S3 \4 U+ W4 f# \0 S51 05工艺中resistor层只是做检查用
2 |- a3 ^/ b, D8 n1 {$ ^52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.6 X9 F# [$ E+ X. u
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.8 S4 h' j; {3 O% o8 V5 r2 R/ a) Y$ g8 R
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。! f" c; B! |" e+ p! z/ |. b0 O
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
1 b# f' C# n. M56 关于powermos
- F8 y1 \5 Y; Q4 m① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
$ Z" F* m+ [# S& R② 几种缩小面积的画法。$ r* B5 H& @3 b; U, y
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
1 z( v* j1 p! {; S57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).* L7 \* @3 f) r- ?7 M
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
+ O' F9 r+ {3 y( i# ?8 |* g59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
W- V& m3 U1 v: l8 ^: ^& N- O60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。( h3 r/ R: K3 W! c% H3 b0 A% D5 o- r
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.) ]5 U6 T: ]9 s
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
2 L5 P; X1 E6 l- N% i7 h63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
2 R2 v2 Y( x0 Z- ? \) {6 b) \5 H64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)$ V, g) G3 V! G0 A+ G2 N$ L
65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
' w- W: m9 F# d6 N66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
; f$ z6 ~( R {5 k7 y4 v; E67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
/ j% l4 t7 \* v: D+ x4 E68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.; N+ p, |; F' h3 e) _9 I/ H/ [1 X
! D2 Q8 ?! |+ M' Z+ h- O
出错检查:
* E. h; t% S# m5 B69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;1 }, G- y5 {2 s: y( F
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX) B$ _& @5 z3 h7 g* m: ~
71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。4 I! R) U% A [" I) C4 M% A3 d
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。; @; v* a4 j0 R
73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起: _2 n; {+ I4 g
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
# [( I$ I1 C+ p. w; G1 }" ]& t" W) K& L75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
9 E( L: E2 E( Z3 G76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE. 6 Z& t+ K! Z3 t# M
77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.# L: K' P. g3 b2 a2 t4 s" @* e7 b
78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy
0 u, B4 @ ^3 O) S+ m" i# A% U7 R79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.1 d! k4 W+ M) }* D5 g: C9 p+ g
80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
8 J k2 h" w" u' ]7 u( ?81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
4 j9 @* n7 B0 m0 G1 ?, L8 ~* B82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
7 B; b+ \8 s0 J, [83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
: h5 S( t# e5 D5 [4 I. h C: m+ j6 F; h' v2 w
容易犯的错误
; I: a7 i1 q% Z" q8 {/ o. \1 d2 H84 电阻忘记加dummy
3 D( \3 K% m: q1 ?# l7 j+ E2 i2 l5 K85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
1 ?) J) N& o# g+ E) A1 e8 o86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示. ^4 w1 _) p7 h) }8 e, U! H0 I6 m
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.& J) l* \8 M5 R. N4 |
88 是否按下capslock键后没有还原就操作
) d% i0 S6 ^7 G, K7 l# {( t; m3 {& O9 G
节省面积的途径7 K' [0 y6 w$ R; V
89 电源线下面可以画有器件.节省面积.5 F/ ]5 x, T' N8 s U
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
3 Z. m: S* s/ U/ i" P3 t9 s91 电阻的长度画越长越省面积。
" A6 t0 x6 i4 L0 s1 V) `92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.- J: A" K [! Z- W. r# ?, t, ^
93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。 t, j( y; ]7 g {& L" n7 O
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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