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前的准备:; D( [& W6 V, P( M: ~4 X+ K. C
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.5 z7 }* y! c, o: c: y; z
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
( T4 X5 P/ Y0 M. k- K" Z3 布局前考虑好出PIN的方向和位置+ p6 n6 D4 H. X) ~
4 布局前分析电路,完成同一功能的MOS管画在一起
1 A2 u- U# Z& ~+ t* }1 F$ i8 R5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致,不要有横有竖。1 G/ ^6 q6 T" _8 ^9 J
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
* d( ^- `( A1 `" h) b# V. b7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
: o7 u/ [' x# C$ t9 `) _8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
# M2 ]) B. @. k) I* V* Y9 将不同电位的N井找出来.
# x1 t: n7 m: x% f6 [; Z% {4 o5 p) c7 j' j8 k
布局时注意:
* q& g9 q+ S- Q' M10 更改原理图后一定记得check and save) {5 _9 B, e2 Y& R
11 完成每个cell后要归原点* k* U" Q: |) R# D- Y x
12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意);各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后,会对布局有大概的规划,先画DEVICE,(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).; H8 D. D4 O; m3 M
13 如果一个cell调用其它cell,被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来,要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来。; d/ B/ v$ n( {5 X1 \" e
14 尽量用最上层金属接出PIN。
2 I v/ ?6 Z6 d1 ?- h% E0 {5 J15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.$ C* X4 H7 k! }! f/ P2 `" b
16 金属连线不宜过长;4 P% {+ G& r3 K- n1 ]
17 电容一般最后画,在空档处拼凑。
8 b. S9 D% J& ?' m1 O% u- x18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.; k3 U3 {4 o7 v$ v
19 LABEL标识元件时不要用y0层,mapfile不认。* Y0 J/ \- T( u7 M+ N: G
20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小./ i7 K# s$ J& S" Y8 Z8 B
21 电容上下级板的电压注意要均匀分布;电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.3 ?) y0 @% Z& |# A
22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。* ^0 B4 x9 ]' t1 u+ u L- C9 Q
23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
- Y* r# B5 k: _( K3 O8 g24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
5 ~1 Z* y( w& f' K' }25 一般打孔最少打两个0 N8 G1 u1 i1 ~& {! W! w( V
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
* C0 h1 n3 z9 u' a27 薄氧化层是否有对应的植入层) t! x+ ^' L1 F' x( a9 }& S; j
28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
) {4 A$ C, ~) Q' \: f+ M: x29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度, S, O% n' s$ v* @4 X
30 连线接头处一定要重叠,画的时候将该区域放大可避免此错误。
+ k0 f# s2 O0 K* F, M A: V- p31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近,没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。( |) }' u; c8 s+ Y6 g
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
/ q- b3 F' r. [* _5 v9 |33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
& x* ?# p% y7 ?$ X5 H4 r34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.$ E. i, P: z" X* r) b1 h
35 连接Esd电路的线不能断,如果改变走向不要换金属层& ?' R* j1 @; ~# m
36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
( P ]3 B1 }6 ~' E6 O1 E37 PAD和ESD最好使用M1连接,宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。# j1 X0 p* I' V* w1 \# \* _3 }( y
38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。+ ?4 L* o1 | \/ x' {" s
39 Esd电路的SOURCE放两边,DRAIN放中间。2 I! k& R+ p9 H5 Z2 Y* _% F
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
% j! a) ~, ~) H: J; ]9 I5 g41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。: n, Z+ R- [. v9 W; z2 Q
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
8 H1 `% Z; y6 x8 L9 c3 ]9 s43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.1 R! C; ~ v) ` r N c; E6 K
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路?上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.* ? x# ]# ?; ^9 z
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
" Y; E, x5 p- d7 O7 `* ]6 J; m46 关于匹配电路,放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配?使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向,纵向,和中心匹配。
' q, {' {2 \8 y7 h1221为纵向匹配,12为中心匹配(把上方1转到下方1时,上方2也达到下方2位置)
) t V' L" C7 m* x( w8 F& v K$ T8 Y 21" v' X: S8 M U: m" ~
中心匹配最佳。
- h* a2 I; ^( E1 d% M47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
- c5 y- ]0 @5 Y! h, n% ?+ h1 o48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
) e2 s. F' G3 j, y: s+ R( Q9 v- s- T49 电阻的匹配,例如1,2两电阻需要匹配,仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
9 v% d/ N6 z3 ~+ ? L9 ~+ }7 v; U50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
& U% i- q" K8 m51 05工艺中resistor层只是做检查用
# G* `9 _ T& v; Z! `52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
) K" q; g; e$ p1 n+ {% [ d0 Z2 i53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.& s1 R# Y3 H. i5 \: P+ s. b
54 电容的匹配,值,接线,位置的匹配。7 e" |! ~6 Z J% E6 [9 L4 z
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
, N5 _8 f! G8 v; e* N! V56 关于powermos+ R! A7 B4 p8 C3 C3 H8 I# e
① powermos一般接pin,要用足够宽的金属线接,
2 W" k2 W: X. ~- I* {② 几种缩小面积的画法。/ r- S5 q6 D* n" G5 \
③ 栅的间距?无要求。栅的长度不能超过100um
* H# \0 q" q# a0 b/ ~6 F* s7 v57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).9 g/ \) ~) D2 ]
58 金属层dummy要和金属走向一致,即如果M2横走,M2的dummy也是横走向
3 X4 P9 p6 V, B59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
- @+ s% j/ C f+ B60 匹配电路的栅如果横走,之间连接用的金属线会是竖走,用金属一层,和规定的金属走向一致。& y, k7 V7 w& A. e
61 不同宽度金属连接的影响?整个layout面积较大时影响可忽略.- [+ b& D* M5 L: i6 h6 H! q; i4 J
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.4 D- S, e; `7 E7 J, x
63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
; {" g* q, H9 r8 H5 O0 F$ E/ }$ h64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
" S% ^! l3 U- ]65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.5 g" J7 R6 }% `5 Q1 K
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.# R; L! \% K6 ~$ B
67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
, e. `& O) t/ e* k1 W" Z68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.: z9 h0 i- M2 b8 y/ X2 T, k: [ r; N1 ^
( E2 t+ z& f; q) c8 a k出错检查:
7 g- M6 K! F! _! d69 DEVICE的各端是否都有连线;连线是否正确;! I c$ s, N7 J- W9 v
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线,特别注意VSSX,VDDX
* k7 f# h4 V$ N3 G5 o5 A71 查线时用SHOTS将线高亮显示,便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。! w* o1 K# }) @% v$ l* i6 O
72 多个电阻(大于两根)打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样,最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um,即两根电阻间距的一半。
% i: L) l' }) S+ \) J# r- x, f) S0 P73 无关的MOS管的THIN要断开,不要连在一起0 A1 Y0 }. y. _
74 并联的管子注意漏源合并,不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
; e+ Y9 u9 T& g. w% l( k) k75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
/ F4 n$ I, l0 Q$ u) L76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
4 s$ ]/ Y8 i( h# ^. O" w3 N77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
$ `- T3 ^$ x+ Z78 消除电阻dummy的lvs报错,把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻,不要覆盖dummy( |: m0 Z0 s# i* X, U
79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
$ [% p2 `6 e5 K5 l4 W' u80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
) K$ m0 E! `9 U X81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.* ?2 x6 W6 E- ^+ ~
82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.& k# G; }! L+ \# _9 J4 W6 `
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
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容易犯的错误
2 D4 L9 D2 T9 s4 h0 U+ D1 v84 电阻忘记加dummy. ~1 T+ A& L2 F! D
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.. p8 e0 ] S# y; T; W6 s
86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.3 j, P* \' u4 _1 l+ M) `
87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
* O4 s% ? Y4 a' |6 `2 @2 g9 z88 是否按下capslock键后没有还原就操作4 t3 l/ ~! |# u) O3 a$ Y9 Q0 O
; g5 ~+ r0 i0 f" X1 w* Y
节省面积的途径
3 M h8 i3 c( ~% H3 E% D89 电源线下面可以画有器件.节省面积.2 x1 ~) a2 R/ P+ T
90 电阻上面可以走线,画电阻的区域可以充分利用。
5 X m9 v: x' L9 B+ r5 n91 电阻的长度画越长越省面积。! ?4 N! a% R% T5 O8 ]! v
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
% ] K+ r1 ^! V ?6 @93 做新版本的layout图时,旧图保存,不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连,可以从更改连线入手,减小走线面积。1 S# T5 t1 T* @' F$ z
94 版图中面积被device,device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手,更改FLOORPLAN. 谢谢大家看到这里!!! |
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