干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点有哪些？

grand

干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点有哪些？
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Yassminee

各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

Yassminee

各有优劣，看你适用于腐蚀哪种膜，以及与前期工艺的兼容性等。
湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制。
干法腐蚀：能实现各向异性刻蚀，即纵向的刻蚀速率远大于横向刻蚀的速率，保证了细小图形转移后的高保真性。
# s  D% @) ?$ F; f. G5 X缺点：设备昂贵

ounce

● 干法刻蚀优点:各向异性好，选择比高， 可控性、灵活性、重复性好，细线条操作 安全，易实现自动化，无化学废液，处理 过程未引入污梁，洁净度高。 ● 干法刻蚀缺点:成本高，设备复杂。 ● 湿法刻蚀优点:选择性好、重复性好、生 严效率高、设备简单、成本底。 ● 湿法刻蚀缺点:钻刻严重、对图形的控制 性较差不能用于小的特征尺寸，会产生 大量的化学废液。

grand

Yassminee 发表于 2020-5-11 12:06
各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保 ...

谢谢你的回复，我了解了

grand

Yassminee 发表于 2020-5-11 12:08
0 Q% e2 S  a; \; L7 @各有优劣，看你适用于腐蚀哪种膜，以及与前期工艺的兼容性等。
湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤 ...

8 q+ K. t- h$ S' s' f/ v* x$ ?谢谢你的答案，受益匪浅
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dull

● 干法刻蚀优点:各向异性好，选择比高， 可控性、灵活性、重复性好，细线条操作 安全，易实现自动化，无化学废液，处理 过程未引入污梁，洁净度高。 ● 干法刻蚀缺点:成本高，设备复杂。 ● 湿法刻蚀优点:选择性好、重复性好、生 严效率高、设备简单、成本底。 ● 湿法刻蚀缺点:钻刻严重、对图形的控制 性较差不能用于小的特征尺寸，会产生 大量的化学废液。

dull

我又来了，各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

duck

各有优劣，看你适用于腐蚀哪种膜，以及与前期工艺的兼容性等。 湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制。 干法腐蚀：能实现各向异性刻蚀，即纵向的刻蚀速率远大于横向刻蚀的速率，保证了细小图形转移后的高保真性。 缺点：设备昂贵

cscscwww

各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。  缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

青藤门下一走狗

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