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浅析混合集成电路的失效

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    2020-8-28 15:16
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    发表于 2021-4-30 11:11 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    $ k: H( G! y8 a3 X混合集成电路工艺:
    ) ^) [4 O, e! K! H$ k) y" g0 o
    * t: ]* n+ H) i# F3 Q
    ; t5 P1 N" e- s6 KIC 工艺:氧化、扩散、镀膜、光刻等
    ) U* U0 g! \8 Y) E0 f0 n% }4 g2 X
    - c8 _' {; x) b! f! J
    ; o; F2 M2 f0 Y& H. N. x9 t( U- B1 l厚膜工艺:基板加工、制版、丝网印刷、烧结、激光调阻、分离元器件组装等
    & x2 A( P0 d& }; \9 x' }; I+ `( t- N% I; [, c  H8 q, O

    4 o8 c+ X) v$ a  |薄膜工艺:基板加工、制版、薄膜制备、光刻、电镀等
      r4 ~* ~/ ?5 U# V! s( @& n$ ?3 E7 J7 }: f0 q* c6 z

    1 ^. S5 A* _5 i# T失效原因:3 p: t. ^1 ~1 t6 B1 ^! y

    . f. k9 k8 E! g  u+ z  g8 A. Z$ V6 T, x1 Y
    元器件失效:31%# `. n& C, y) Y1 w
    / S& P+ v! }& A2 f% i0 q( }: S
    / h; N1 p4 X& k7 f, N' ~; ^
    互连失效:23%,引线键合失效、芯片粘结不良等+ E  d; M7 E* J, d+ g8 e' P8 _- s

    ! l- a9 U' C  m; N& K  ~* s& x3 J( m* x
    ) c* U! @+ R* x4 H+ T! q沾污失效:21%
    3 B2 ~' ^( j8 B- i( V! E- e# \) B& B7 d4 S

    : o  w3 [7 M8 {4 u4 q2 J关于混合集成电路:7 Q1 \$ k' q7 R
    ! Y9 n) _2 r1 C! t* q9 N5 b' p
    , s0 j: i- _9 j1 k
    按制作工艺,可将集成电路分为:2 W! N0 ~* S& d/ {0 `% b8 R# K. ~
    . U. B2 r& B3 Y! v8 Q6 r" s/ C: u

      Y/ `0 C- u# p3 O1 b5 l0 h(1)半导体集成电路(基片:半导体)4 g3 `0 e- G3 g( `$ q( o
    6 {# R- ?' _" R! H* i6 t% [: @

    ; f) E# [" y1 X1 s0 a! u2 c7 z即:单片集成电路(固体电路)
    ; R3 O! A1 ?$ w- K6 Q  p' I1 Y' _2 R' X

    + W) S/ A# C; _+ {% v4 [6 _工艺:半导体工艺(扩散、氧化、外延等)- n# c+ o  s5 J. O5 M

    0 M" x0 d/ u3 e. z, h( A7 c. y! N1 g; n7 |0 x. e0 I
    (2)膜集成电路(基片:玻璃、陶瓷等绝缘体)
    * E! Z' X: w& [! g1 G5 \% Q3 [: o2 X$ F) |
    0 K: d: v7 ?& E6 x5 o# D. Y
    工艺:
    ' U2 N) @7 `# N" B/ W% G7 s; Q# O$ J
    " @2 ~  z* f+ q
    薄膜集成电路——真空蒸镀、溅射、化学气相沉积技术
    * K3 W% C8 R9 D2 L5 u; y* u, v& @" ^0 g: R, G& {- d% [% p& z  g- W% f  _4 O7 C) h

    # k2 q1 a0 K9 e  u% i厚膜集成电路——浆料喷涂在基片上、经烧结而成(丝网印刷技术)
    3 f8 v: K) p$ \8 g( h  p* a/ r/ l% i+ Z$ Q) R4 w

    该用户从未签到

    2#
    发表于 2021-4-30 13:19 | 只看该作者
    混合集成电路工艺呀
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