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浅析混合集成电路的失效

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    发表于 2021-4-30 11:11 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    x
    ) Z9 P, w2 f! f0 G7 P0 d7 s
    混合集成电路工艺:
    % o0 a$ _/ P! Q1 `0 [$ K& O% K/ W3 y$ b: q* S! R# K6 ~5 g& h

    + w5 {5 I) ^( H. J: m+ i$ `IC 工艺:氧化、扩散、镀膜、光刻等5 U5 h9 ?( f* x: {
    & Z0 O/ j4 r1 s9 b: w
    # _5 v  W, U) b/ H& L5 ~
    厚膜工艺:基板加工、制版、丝网印刷、烧结、激光调阻、分离元器件组装等
    : [8 b4 s! \- @7 r. I3 t) r6 x* R# i! P
    " d# i$ e' ?8 x6 \/ [
    薄膜工艺:基板加工、制版、薄膜制备、光刻、电镀等
    3 t$ {0 D0 y$ Q$ [# G9 Z
    6 f( l7 q: E% i" \$ m8 i: p3 @& }& F+ v
    失效原因:
    # u! k  H+ X+ @* S& v) s. H# ]* C% }* {
    6 Z1 D. W* W# J' L; |( k
    元器件失效:31%# E, X4 {) X5 v6 X$ L
    1 [# m, C) u, n0 y
    ' E- d5 i5 G$ F: h5 x' O6 |
    互连失效:23%,引线键合失效、芯片粘结不良等
    % t0 `' m6 Q% A
    9 V! _% v9 r4 o
    ) H6 r! Q; S# t! F2 V沾污失效:21%2 C4 z# ~) ]7 u1 {( P

    + e  j$ q/ s' M( v. B, _" |& c% _% j8 s' o4 Y/ ?( W+ h: v
    关于混合集成电路:
    - I1 b4 p+ t6 ]3 f$ c& e4 h6 F
    % \+ a3 B( H) |8 b# z7 T5 R3 R' @1 D7 L$ Z0 Z7 a- u: z
    按制作工艺,可将集成电路分为:
    % t7 g! J; q" |6 `9 B3 U% s1 Z7 j. k
    : |/ I8 p8 |6 m& a5 m4 H- D& _
    # o; O& r' i) ^4 ~' _  X* h(1)半导体集成电路(基片:半导体)
    3 h. j6 w+ c* P- j; R! N1 v* U% x+ B( K4 B

    * g) j. \' T7 L即:单片集成电路(固体电路)0 P1 j$ a- ~2 n! i3 g5 i
    & C: c1 h6 G! U6 i8 C

    ! W* _  L. H( @工艺:半导体工艺(扩散、氧化、外延等)
      C1 n# p$ a. a  T2 @- l4 P. }+ ^( G& H8 C. l; ]- T* ~

    ) Q' G3 q( ], b( V) s2 ?9 u3 D5 L(2)膜集成电路(基片:玻璃、陶瓷等绝缘体)% W3 L4 b; r. e
    1 l: J0 D7 O8 `2 s& z; y# A2 g

    ( T" I# L. w! S2 S8 B6 p; g工艺:
    : R: Q$ U9 f- n- `, e
    0 v) O4 p  U  ?6 W9 |; x" @5 |) V: @
    # r; L; V+ L4 s薄膜集成电路——真空蒸镀、溅射、化学气相沉积技术% A  q% x4 H/ f0 Z5 U* v( ^

    3 Z9 \0 r1 \4 q- d( Q
    & r: C8 {/ }' Q# Z2 r厚膜集成电路——浆料喷涂在基片上、经烧结而成(丝网印刷技术)- {1 W) v$ p4 Q* b: G1 m7 t  t
    + V9 \3 Z& s* l* U* d

    该用户从未签到

    2#
    发表于 2021-4-30 13:19 | 只看该作者
    混合集成电路工艺呀
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