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Semiconductor technology handbook
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0 T7 ?) L! ~6 E& t2 H% A) x由Technology Associates出版
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& U* ^; i1 I3 k& h- ~中文版名为 半导体器件工艺手册& f1 b% T( V! A! t8 j$ N4 l1 ^
1 d6 t: C* K2 w; c, ?) l里面有 Wafer Fabrication Process 中需要用到的
6 u; `' J, x* r% [& P0 d很多变量关系曲线，很有用的。
2 L$ C! ^3 M; j9 M' e% H1 q0 a5 n
之前一直在找英文版的，# p& e& ?" X1 I, i$ s' m4 V
结果误众副車，
* G( _$ x: u4 E, b- m/ |现将中文版共享于诸位。
* J+ {9 U3 F3 P9 i2 |$ E0 e9 R, ]" Q |
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发表于 2016-11-16 11:24
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