TA的每日心情 | 慵懒 2020-8-28 15:16 |
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目前倒装芯片逐渐成为主流的封装互连技术。传统的FCBGA的发展趋势如下:4 S9 s+ y, K! r* J
1. 凸点节距:
9 u; q3 {% {! }" Z) }6 la. 减小凸点节距能够提高I/O密度;
2 k" U6 f( C5 E4 fb. 节距变化趋势:250um逐渐降低至75um,CP bump节距可以做到更低;: E$ |. M( e7 E! {. U& ]
2. 焊锡凸点沉积方法: 蒸镀-->丝网印刷-->电镀;
8 H0 r+ }: L- y) e, f* S/ f3. bump焊料组分:高铅-->共晶-->无铅(Sn-Ag)-->Cu柱节距<125um;6 j7 b* H' `) `
4. 封装组成: 陶瓷基板-->高密度互连层压基板-->预浸层压基板-->低热膨胀系数层压基板-->无芯基板;# M7 N: K9 B8 a! O4 V
5. 封装结构: 密封单片盖(SPL)-->非密封单片盖-->加强筋+盖子-->裸芯片-->模塑9 e# t7 ? x* q6 }* K7 B, y
/ L% P2 {7 Q! a% s
现在由于小节距阵列和无铅化要求,晶圆制造中容易出现高应力的凸点结构以及脆弱的层间电解质层。以上材料的特性在封装过程中容易出现可靠性不稳定的情况,如ILD(电介质层)开裂,UBM分层,凸点开裂,或其他与应力有关的问题。解决此类问题,封装工程师需要向晶圆制造商询问硅叠层及其有关强度的情况。以及在以下方面进行调查;
7 n" T7 x+ K' t9 b$ n: j7 H1. 顶层Cu或Al的厚度;7 X. `# @0 Q R
2. 非ELK覆盖层数;( _. c, G! U0 i' i: p
3. 通孔密度;
) j) B) @9 F# a8 U" z( C4. 硅一侧凸点焊盘开口;8 F5 y5 D) z4 I% Q
5. 凸点UBM的直径和高度;" a; h; H2 [. _
6. 在凸点结构下方添加钝化层,如聚酰亚胺(PI)或PBO;, }- v0 O. Q2 c6 q! w t% m
7. UBM叠层,如厚度和材料;4 K$ x3 B% T8 ^7 g s/ A/ q
8. PCB焊盘尺寸及阻焊层开口(SMO);) B6 D7 C6 Q. F$ \
9. UBM/SMO对比;" L; x) o$ z& N- t. j( o# V- P1 a
10. UBM应力; c* M7 z2 j$ b7 L% C/ r9 k
11. 芯片/封装之比;7 T! ]2 _: X+ Q+ {9 {
12.底部填充材料;如高Tg
5 a4 U2 \1 E5 T/ i5 V+ o13. 回流温度曲线,如缓慢冷却;+ }8 w+ ?) V, |! j$ S
14. 增加密封盖或其他强度更高的结构单元;
" p( K$ y5 |: o15. 基板芯材及厚度;* [8 i! N' W2 U. ^: \7 |! l
16.基板热膨胀系数
+ v' C$ M e- b2 `$ E% H) S4 n$ O" L# Z
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