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浅析混合集成电路的失效

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    2020-8-28 15:16
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    [LV.1]初来乍到

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    发表于 2021-4-30 11:11 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    x

    ) W- M- I& Y$ r/ y混合集成电路工艺:+ L" |1 c7 ~, `# x/ F

    , V" \0 j3 @6 c( [! p2 [
    . \% x6 n7 S$ q0 C  x  QIC 工艺:氧化、扩散、镀膜、光刻等0 }; I0 S# o7 V1 [6 ^0 N; s
      _4 N4 M- `' u( |: t
    / }% `  Q% p  v9 X9 e/ G& `9 O$ i
    厚膜工艺:基板加工、制版、丝网印刷、烧结、激光调阻、分离元器件组装等' Q4 W% G7 f7 U8 R

    8 l" e+ F4 l- |  U) F' y/ h6 r
    , ?7 ]( D& U6 z( Y$ r( _! G薄膜工艺:基板加工、制版、薄膜制备、光刻、电镀等; g& ~! \+ r& S

    ; X2 `9 X/ |# h: t# [- M* u) Q+ n% g. f6 Y
    失效原因:
    2 L4 T+ }3 o9 l- r5 E  i
    . V! P: w' X& \* j- N& S/ b) X; ~* \) x. m( Y
    元器件失效:31%
    5 k5 A* h% v  W& v$ K4 r3 {) B2 V
    5 W7 ^1 O/ p8 J, g% @3 e9 _: v2 O' e# W/ W$ T0 L
    互连失效:23%,引线键合失效、芯片粘结不良等/ f! ]4 x4 T1 A7 x3 K, v* |
    $ |# ]2 B  @7 Y2 p! T

    - l4 G7 T0 X& g$ }9 m5 `* H沾污失效:21%4 E" ]. M# y4 b5 ?
    7 M: l1 ^2 r1 ]% \: g; W% z

    # ]  A1 @) W3 [, N关于混合集成电路:
    5 l' ]; s/ Q" Z0 F3 o. \  l6 Z; l0 B9 o. u, |/ f* G3 F
    / S8 I$ m/ V( O
    按制作工艺,可将集成电路分为:# a0 o6 O7 g" n5 n- v

    # f! i" M1 Z: M+ ^* G8 ~# ^: n1 ~. _. ]; X& N/ C3 Z
    (1)半导体集成电路(基片:半导体)
    + \# ~1 @: e3 z' i7 @% R4 P: f0 j. x3 O: P9 t* d" X5 D8 H

    ( E8 n! x. M4 w) K; `: Y7 D即:单片集成电路(固体电路)$ {7 G) v% w' [' Z+ ~5 p& }

    4 Z& f3 T! R! ~# h( [' D: C1 S8 |$ ]: e' q& f
    工艺:半导体工艺(扩散、氧化、外延等), {7 S0 @  {. C! s
    3 p& f2 X) l6 M8 I: X
      f$ K9 K6 A, f2 @. v8 `
    (2)膜集成电路(基片:玻璃、陶瓷等绝缘体)
    7 D; t, x3 i0 Y
    ' ]9 p8 p2 a- o2 ^6 m2 f7 @4 H6 B
    ) V' ?8 l  z0 {% O/ r7 C6 ?. e# W工艺:
    6 M+ F3 v/ E! v; v- ^' Y+ R$ i$ E: a5 X& S- D4 W
    4 R+ s1 b: e$ h& a  _  S- l8 K' ^
    薄膜集成电路——真空蒸镀、溅射、化学气相沉积技术
    ! i3 W- T/ o6 `6 p: U) P
    ' J/ M: o- y$ O9 K# L% N+ D$ F9 G& I$ L
    厚膜集成电路——浆料喷涂在基片上、经烧结而成(丝网印刷技术)% @' q; T  n# ^& r" e3 b, A
    7 D# v  Q" I% x3 t. b( j* w/ ^

    该用户从未签到

    2#
    发表于 2021-4-30 13:19 | 只看该作者
    混合集成电路工艺呀
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