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摘 要：该文基于 MEMS 电场敏感芯片，研制出了一种新型的地面大气电场传感器，解决了现有场磨式电场仪易; x- O2 x0 b ~5 Q9 P+ Z3 A% {
磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用 SOIMUMPS 加工工艺制备，其芯片面积仅为 5.5 mm×5.5 mm。
' H _9 f- @8 q该文提出了传感器敏感芯片的弱信号检测方法，设计出了满足环境适应性的传感器整体结构方案，并建立了传感器+ H M: J: f0 W7 K7 Y( N
的灵敏度分析模型。对电场传感器进行测试，测量范围为-50 kV/m~50 kV/m，总不确定度为 0.67%，分辨力达
+ O7 u7 N7 N0 D3 b/ k到 10 V/m，功耗仅为 0.62 W。外场试验结果表明，MEMS 地面大气电场传感器在晴天和雷暴天的电场探测结果，
$ N+ {, ^2 F0 ^- M2 d与 Campbell 公司场磨式电场仪探测结果都有较好的一致性，说明该传感器能满足预测雷暴要求，实现雷电监测和( E5 i& O% p2 E" ~* ` q K
预警功能。9 a# b6 F' _1 K" a: D
关键词：微机电系统；电场传感器；MEMS 地面大气电场传感器) h( Y# W$ |! P
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发表于 2021-6-25 11:14
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