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具有高速电子移动率、低噪音特性、高fr(断开频率)等优良的特性。以使用化合物半导本为主。GaAaMESFET、HEMT、HBT等为代表一晶体管,用于移动通讯、卫星通讯等领域。 ★FET系列高频晶体管 GaAs MESFET GaAs MESFET:是利用了半导一材料中比Si移动性好的GaAs (Ⅲ-V族的化合物半导体)的接合型FET。具有高频、高增益、低噪音的特征。 基本结构 和Si不同, GaAs无法得到优质的栅极氧化膜,因此无法形成MOSFET.是一种使用金属-半导体接合面(肖特基接合面)作为栅极结构的接合型FET。在半绝缘性的基板的表面侧注入离子,或通过外延成长所作的N型GaAs通道层,上面有附加肖特基接合面的栅极电极和欧姆接点的源极、漏极电极。 动作原理 动作原理是将在金属-半导体接合面延伸到通道层内的空乏层,通过栅极电压加以控制,从而控制源极、漏极电流的结构。
高频晶体管
GaAs MESFET的结构 HEMT(高电子移动度晶体管;简称HEMT) 所谓HEMT,是指将AIGaAs/GaAs层混合接合部界面所产生的电子积蓄层作为通道的晶体管。因为可以直接通过栅极电极控制通道,因此除了低噪音、高增益以外,还具有特别优良的GHz带的高频波的特征。 基本结构 将在Ⅲ-V族化合物半导体混合接合面部分合面)所产生的高移动率的电子层(或空穴层)作为通道的肖特基栅极型FET。将栅极电极设置在AIGaAs层上,使其厚度变薄,在外加栅极电压时,使AIGaAs层完全空乏。 动作原理 由混入AIGaAs层的施体不纯物提供的电子横切混合接合面后,向能量较低的GaAs侧移动,移动后的电子被AIGaAs侧施体离子的库仑力吸引到混合接合界面,形成极薄的通道层。通过栅极电压控制该2次元电子气体的浓,控制源极、漏极之间的电流。这样,电子和不纯物离子被分离,GaAs中的电子可以不受到不纯物散乱的影响,高速移动。
GaAs系列HMET的结构 ★双极系列高频晶体管 HBT(混合接合双极晶体管)及其动作原理 HBT是用于高频开发出的双极晶体管的一种。和一般的双极晶体管(单接合双极晶体管)中,发射极、基极采用相同的半导体材料制成的相反,HBT的基极、发射极使用不同的半导体材料。一般的双极晶体管为了提高高频特性,将基极的不纯物浓度提高,将在极层弄薄,但由于电流放大率会下降,因此有一定的界限。制成HBT结构,就能利用构成发射极和基极的半导体材料的能量差的不同,在不降低电流放大率的的情况下,提高不纯物浓度,进一步提高高频特性。 SiGe基本结构 其结构就是将通常的Si的NPN晶体管的基极通过外延成长转换为SiGe混晶基极。可以使用和一般硅双极相同的制程、设备制成,因此可以制造具有优良高频特性、价格便宜的半导体器件。适用于混合双极晶体管和CMOS的高频BiCMOSLSI用。 高频器件的用途 高频器件用于手机、个人机器GPS天线、卫星广播接收机等。 4 Y4 Z) a& X% x0 [4 x
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