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求助:Mos管的主流工艺?技术趋势?

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  • TA的每日心情
    奋斗
    2022-4-26 15:14
  • 签到天数: 152 天

    [LV.7]常住居民III

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    1#
    发表于 2019-12-27 17:32 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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    求助:Mos管的主流工艺有Trench、Planar工艺结构,两种工艺的优缺点有哪些?感谢~5 a- ?+ o! H" ~5 Q; F% T7 c/ y+ Q* V
  • TA的每日心情
    开心
    2022-4-26 15:18
  • 签到天数: 153 天

    [LV.7]常住居民III

    2#
    发表于 2019-12-27 18:18 | 只看该作者
    TRENCH工艺主要用于低压MOSFET,为了降低导通内阻,把栅极结构做成了类似U型槽4 ~, ^0 h' d; w! r* J/ h' h
    PLANAR工艺是普通工艺,也是最常见的VDMOS结构。

    0 ~' _2 e2 Z, i: ?% ?- W

    4 f% D$ f" B- p& @6 [' Z
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