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失效分析 赵工 半导体工程师 2024-01-24 09:35 发表于北京 听全文8 }9 f) c4 k% o# X& i
Wafer、die、chip是半导体领域常见的术语,但是为什么单颗裸芯会被称为die呢?
' K, d, }' L0 Z E9 w9 WWafer
" u2 D/ t- q: p" G' Zwafer即为图片所示的晶圆,由纯硅(Si)构成。一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等,晶片就是基于这个wafer上生产出来的。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。
- w- x2 b! M% I1 B4 o- n4 n- }/ n: zChip
$ n/ i5 P/ L) r2 b( `! T7 y一片载有Nand Flash晶圆的wafer,wafer首先经过切割,然后测试,将完好的、稳定的、足容量的die取下,封装形成日常所见的Nand Flash芯片(chip)。芯片一般主要含义是作为一种载体使用,并且集成电路经过很多道复杂的设计工序之后所产生的一种结果。
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Die指的是芯片未封装前的晶粒,是从硅晶圆(wafer)上用激光或刀具切割而成的小片,每一个小片就是一个独立的功能芯片die,一旦这些die完成其功能和测试过程,它们就会被封装起来,形成我们熟知的芯片(chip)。晶粒是组成多晶体的外形不规则的小晶体,而每个晶粒有时又有若干个位向稍有差异的亚晶粒所组成。晶粒的平均直径通常在0.015~0.25mm范围内,而亚晶粒的平均直径通常为0.001mm数量级。
) r6 u3 j9 F3 r- {3 K ^" X' \' e. z大家心里有没有这样一个疑问,为什么单颗裸芯要被称为die(死亡)?下面给出三种说法以供大家参考。
& l6 q! \* l$ z' g剑桥词典里对 die 名词性质的解释是" a block of metal with a special shape, or with a pattern cut into it, that is used for shaping other pieces of metal such as coins, or for making patterns on paper or leather"。意为一种具有特殊形状或带有图案的金属块,用于塑造硬币等其他金属片的形状,或用于在纸或皮革上制作图案。这个解释就有了半导体那味,和光刻刻蚀产生了关联性。% y, w: u& J; X+ q/ K6 ?( z+ v
查到的第二种说法,die起源于德语Drahtzug,意思是拉丝,用于调节金属线的直径和精度。
/ c. C4 Q: k( z2 l7 t第三种说法认为( O2 ?7 `" C0 }& P, e( ?
die源于diced(dice过去分词),指的是将wafer切成小方块的工艺。这个说法非常有趣,唱出来的是song,数出来的是count,切出来的是die...我不知道新事物叫什么,但我知道产生这个的动作。
; y4 [- y2 ?( X# q6 y* h- T来源:中国科学院半导体研究所;作者金末+ a$ }& _: u! m. S q
半导体工程师( s! I8 L5 ]6 I' W
半导体经验分享,半导体成果交流,半导体信息发布。半导体行业动态,半导体从业者职业规划,芯片工程师成长历程。9 P) ]5 c- B/ F! o( A% [# N% ^+ u
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