扫描电子显微镜SEM应用

半导体实验室

扫描电子显微镜SEM应用范围：
1、材料表面形貌分析，微区形貌观察
0 h* I# V% c) K* _% @9 c! |2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析
3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析
& D8 g8 u1 y6 H  X+ C扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。
/ L2 G% l1 I! m% C9 u) m7 A6 Q样品要求：
: I$ L: ?% h' O% f样品必须是固体；满足无毒，无放射性，无污染，无磁，无水，成分稳定要求。
' m% _9 ^" ^: ~2 I# U+ W制备原则：
/ {6 G% n" c6 [$ Z" V表面受到污染的试样，要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗，然后烘干；
7 G1 C) @' A1 D( o2 o新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以免破坏断口或表面的结构状态；
要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干；
磁性样品预先去磁；
, U* K) D* H4 S8 O  i5 T试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。
" G9 T, I; P- S8 a  |; Z常用方法：
块状样品
块状导电材料：无需制样，用导电胶把试样粘结在样品座上，直接观察。
+ b4 x5 O! D9 K, M4 F7 U0 f块状非导电（或导电性能差）材料：先使用镀膜法处理样品，以避免电荷累积，影响图像质量。
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