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光刻胶是正胶还是负胶

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发表于 2022-5-19 16:06 | 只看该作者 回帖奖励 |正序浏览 |阅读模式

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同一种mask在不同工艺上用的光刻胶是一样的吗?" t5 S( e$ }& m# e* v( `5 C' n( b
PM这层在TSMC 55用的是负胶,在0.18工艺上用的时候是正胶还是负胶?; h5 z& z. j. }( Y2 m
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    1#
    发表于 2022-5-19 16:35 | 只看该作者
    不一定,用正胶还是负胶是由fab决定的
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