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扫描电子显微镜SEM应用范围:
' `. M2 A# I7 Z1、材料表面形貌分析,微区形貌观察+ g4 {/ O# {/ y7 y7 K5 O
2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析
3 S/ g1 H! n8 T4 T1 h. ?3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析
0 x% X8 m% s! r o2 F- t& m0 o" I扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单,不需要包埋和切片。5 X% K9 \* v' e0 I$ f3 S" X
样品要求:
/ Z- ?! ?) x; D3 m4 m1 i7 K9 d样品必须是固体;满足无毒,无放射性,无污染,无磁,无水,成分稳定要求。- a# E& d' s7 J! Q2 e
制备原则:& i4 q+ d0 c% a" a A1 ~
表面受到污染的试样,要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗,然后烘干;3 i, N4 {- M. O3 c; t
新断开的断口或断面,一般不需要进行处理,以免破坏断口或表面的结构状态;
0 G+ ^! y8 \1 Y& Q' @' _要侵蚀的试样表面或断口应清洗干净并烘干;6 ~! Z' v/ |+ y
磁性样品预先去磁;
7 y; I: q l7 x, I8 M0 p试样大小要适合仪器专用样品座尺寸。 k+ v8 ]: m' p
常用方法:! p) V p9 Y; o) U% f, g) w
块状样品
, H% R6 p, T- J" ~块状导电材料:无需制样,用导电胶把试样粘结在样品座上,直接观察。
! k2 _8 t& B4 e8 J块状非导电(或导电性能差)材料:先使用镀膜法处理样品,以避免电荷累积,影响图像质量。7 n/ j2 H' R5 _7 l# [
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“来自电巢APP”
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