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芯片失效分析五步疗法

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发表于 2022-4-27 15:48 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

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第一步decap:先用激光开盖机sesame laser s1000镭射逐渐去层塑料外壳(避免将电路打掉),再用酸腐蚀塑料,酒精泡水清洗后露出电路板,加热台加热蒸发掉水份,最后用10倍目镜加10倍物镜检查电路是否全部露出。
) K( O+ L$ K/ C
; I% b1 {/ S7 z" k
, f7 m# L( m  }& K% Q3 {2 {6 y5 U' K
( x9 @& a" ]7 X
第二步emmi:x射线检查仪phemos1000暗室中用微光显微镜10倍目镜,5倍20倍50倍100倍物镜扫描150秒对比好坏片差异,找出不同亮点(电子光),定位出问题电路模块。2 `$ k5 y9 J" h
/ X7 W- q5 z2 N( i5 @* d# x- m8 H
: ?$ f+ J% p* y7 x: Q3 l
第三步probe:fei fib800仪器用离子束耗材ee碘对猜测问题信号线空旷位置去钝化层后再用pt耗材周围长十字pad用于probe。接下来探针台psm1000 probe十字pad后用示波器MDO3024查看猜测问题信号线的波形,确定异常信号。
# g2 p# z* ~& O  W% f
2 M# ~, C4 f, |8 x2 u' b# N) O

" V- h# C, ^+ b" Q2 E8 t
第四步FIB:根据已知数据,分析出问题的根本原因,找出对应的fib方案,用fei fib800仪器用离子束ee耗材打洞露出底部金属铝线后用pt耗材连线在钝化层上方。
. O( T5 a; J" m& E8 W
0 W! g+ Y! p; E5 }8 z

1 h  {: c5 p# q9 w. P* z
第五步验证:验证FIB结果是否解决问题,probe问题信号线是否正常。

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    [LV.10]以坛为家III

    2#
    发表于 2022-4-27 15:52 | 只看该作者
    不错,很是专业,好好学习下
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