|
|
EDA365欢迎您登录！
您需要 登录 才可以下载或查看，没有帐号？注册
x
一般来说，芯片在研发、生产过程中出现错误是不可避免的，就如房缺补漏一样，哪里出了问题你不仅要解决问题，还要思考为什么会出现问题。随着人们对产品质量和可靠性要求的不断提高，失效分析工作也显得越来越重要，社会的发展就是一个发现问题解决问题的过程，出现问题不可怕，但频繁出现同一类问题是非常可怕的。本文主要探讨的就是如何进行有效的芯片失效分析的解决方案以及常见的分析手段。
! T. S$ j/ d( c6 u" ?) F& N失效分析 * V: [5 m6 N2 K- T# n1 T
失效分析是一门发展中的新兴学科，近年开始从军工向普通企业普及。它一般根据失效模式和现象，通过分析和验证，模拟重现失效的现象，找出失效的原因，挖掘出失效的机理的活动。失效分析是确定芯片失效机理的必要手段。失效分析为有效的故障诊断提供了必要的信息。失效分析为设计工程师不断改进或者修复芯片的设计，使之与设计规范更加吻合提供必要的反馈信息。失效分析可以评估不同测试向量的有效性，为生产测试提供必要的补充，为验证测试流程优化提供必要的信息基础。
4 i* Z; S( t1 m/ W, |8 j7 R; l$ i
9 q- J: z0 j$ ]; N- O失效分析基本概念 % Q# {& e% ^' a8 e; v2 h' G
1.进行失效分析往往需要进行电测量并采用先进的物理、冶金及化学的分析手段。' r. T/ m2 h# U9 Y
2.失效分析的目的是确定失效模式和失效机理，提出纠正措施，防止这种失效模式和失效机理的重复出现。
) `1 z# K6 P* ?3 O) l1 c3.失效模式是指观察到的失效现象、失效形式，如开路、短路、参数漂移、功能失效等。
* y: {" J/ O* ~; r, b! [& b& @4.失效机理是指失效的物理化学过程，如疲劳、腐蚀和过应力等。
2 J- |- J, h$ J3 r/ j6 q9 {% S# l1 z9 L3 _
失效分析的意义
/ Y+ ~( @7 \( ]8 o; g( A$ c0 s1.失效分析是确定芯片失效机理的必要手段。
: Y7 X. F2 A+ G2.失效分析为有效的故障诊断提供了必要的信息。
$ a( T( x6 y( l) K" v$ w: n* d5 |3.失效分析为设计工程师不断改进或者修复芯片的设计，使之与设计规范更加吻合提供必要的反馈信息。
# \) g, W; q# @, N* y) l4.失效分析可以评估不同测试向量的有效性，为生产测试提供必要的补充，为验证测试流程优化提供必要的信息基础。 & ^9 C& }! Q' G! b7 e
E+ o% K( h# S7 M' P
失效分析主要步骤和内容
- _3 W# i$ E# K芯片开封：
f% X4 T. X/ q# f5 u3 \' E0 L去除IC封胶，同时保持芯片功能的完整无损，保持 die，bond pads，bond wires乃至lead-frame不受损伤，为下一步芯片失效分析实验做准备。
8 F+ K8 b- \4 `) \3 A7 z& N8 @/ ~2 d% s8 i) W
SEM 扫描电镜/EDX成分分析： 7 T8 f$ C- J" {2 d; G3 Z" ~* G5 m
包括材料结构分析/缺陷观察、元素组成常规微区分析、精确测量元器件尺寸等等。9 T) ]6 m& }" }$ {
: c2 l& D$ t2 c& ]4 Q H
探针测试：以微探针快捷方便地获取IC内部电信号。
9 E e( @/ R4 I2 q4 S* |8 S! G4 e4 p5 t+ _1 J4 O; R3 j* G0 Y
镭射切割：以微激光束切断线路或芯片上层特定区域。
! I% f4 N7 L. n% F% i: h( d; I3 m4 ]* X& O+ }' P: N/ x
EMMI侦测：EMMI微光显微镜是一种效率极高的失效分错析工具，提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱的发光（可见光及近红外光），由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
, W9 C3 ?8 R3 q% X2 K
9 n+ H3 q; |, |5 NOBIRCH应用（镭射光束诱发阻抗值变化测试）：OBIRCH常用于芯片内部高阻抗及低阻抗分析，线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法，可以有效地对电路中缺陷定位，如线条中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻区等，也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充。 E! n; Q+ p: }3 O& w
7 @: P% I8 w3 ^ u6 t* d' NLG液晶热点侦测：利用液晶感测到IC漏电处分子排列重组，在显微镜下呈现出不同于其它区域的斑状影像，找寻在实际分析中困扰设计人员的漏电区域（超过10mA之故障点）。
- V& p6 M& R8 i9 K- l4 x; V) d7 S* f) W4 ~/ }
定点/非定点芯片研磨：移除植于液晶驱动芯片 Pad上的金凸块， 保持Pad完好无损，以利后续分析或rebonding。 % u2 |8 Q- ~1 Q0 s! S) j9 k% k
9 k( G' p0 m( x: i9 E2 ~0 N
X-Ray 无损侦测：检测IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性，PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接，开路、短路或不正常连接的缺陷，封装中的锡球完整性。 $ O2 S2 n! k7 F" \& [5 H, Q
5 ]: l m/ h) l W# o3 y/ l, P
SAM (SAT)超声波探伤：可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如：o晶元面脱层，o锡球、晶元或填胶中的裂缝，o封装材料内部的气孔，o各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞。* S' H Z% L' b" e, v: H7 x. W
" c- t7 q0 g0 |( l s: q
5 l) x0 q% \: d' x% a( U
& h: T7 s' D8 B9 m% g( L; J
|
|
/1 
发表于 2020-3-3 13:26
收藏
淘帖
支持！
反对！