先进封装(advanced packaging)的后端工艺(back-end)之一,将晶圆或组件进行划片或开槽,以利后续制程或功能性测试。 内圆切割时晶片表层损害层大,给CMP产生挺大黔削抛光工作中最;刃口宽。材料损害大。品片出率 ...
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