1、芯片加工中的缺陷与成品率预测, u7 `- O8 I8 j' t6 C, s% C 芯片制造缺陷的分类:/ q) E. s; Q. W B' j 全局缺陷:光刻对准误差、工艺参数随机起伏、线宽变化等;在成熟、可控性良好的工艺线上,可 ...
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