MEMS典型的失效机理

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发布时间: 2020-12-30 11:19

引言微机电系统(MEMS：Micro-Electro-mechanical System)是基于微电子技术和超精密机械加工技术而发展起来的，将传感器、执行器、机械机构、信息处理和控制电路等集成于一体的集成微型器件或系统，其内部结构一般在 ...

crime 发表于 2020-12-30 13:21

MEMS的尺寸微小，其可动结构部件由微米级的薄膜加工而成，比表面积大大地增加

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