微机电系统(MEMS)技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今,这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置,并带来系统在降低成本、持续可靠性 ...
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