引言随着微机电系统 (MEMS) 在信息通信、航空航天、医疗生物、国防安全等领域的广泛应用，与其性能和寿命相关的失效研究显得越来越重要。近年来，微机械在新工艺开发和新装置研制上已取得长足发展，但对可靠性和失效 ...
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