军用微电子器件的密封氦质谱细检漏试验，行业内通常按照GJB548B-2005方法1014条件A1固定方法或A2灵活方法进行。对于氦质谱细检漏的试验流程是将被测件放到充有一定氦气压力的容器中，高压会将氦气通过封装漏道进入被 ...
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