气密封装微电子器件内部气氛含量的控制,直接与产品的性能、寿命及可靠性息息相关。美军标MIL-STD-883及国军标GJB548的判据要求,对于内部水汽含量的控制需在5000ppm以下,因为水汽含量超标,将会加速芯片的腐蚀,造 ...
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