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标题: SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？ [打印本页]

作者: heennrryy 时间: 2023-1-29 13:22
标题: SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？
SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？也是铜吗？

作者: modengxian111 时间: 2023-1-29 17:20
铜工艺一般Via都是铜，大马士革结构，不管是Trench First还是Via First，Via和Metal都是一起Cu Seed，然后ECP Cu的

作者: xiaoming11 时间: 2023-1-31 18:20
铜

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