EDA365电子论坛网

标题: 随着工艺的提升，特征尺寸变小，掺杂浓度变高，谁知道原因？ [打印本页]

作者: kaixinjiuhaola 时间: 2023-1-28 13:25
标题: 随着工艺的提升，特征尺寸变小，掺杂浓度变高，谁知道原因？
特征尺寸变小掺杂浓度变高，退火时间减小了，这是为什么呢？

作者: modengxian111 时间: 2023-1-28 15:38
特征尺寸变小掺杂浓度变高请百度MOS等比例缩小原则,退火时间减少是RTA设备的进步

作者: Jack_凡 时间: 2023-1-29 09:18
11111111111111

欢迎光临 EDA365电子论坛网 (https://bbs.eda365.com/)