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标题: 28nm工艺中的N-free DARC问题 [打印本页]

作者: kaixinjiuhaola 时间: 2022-11-10 13:56
标题: 28nm工艺中的N-free DARC问题
28nm工艺中的N-free DARC，是一种什么材料， N是什么？为什么需要N-free

作者: jack_are 时间: 2022-11-10 14:37
DARC不估计转移概率，而是使用一对分类器修改奖励函数。

作者: nevadaooo 时间: 2022-11-11 10:55
N就是氮，N free就是不含N元素，避免和光阻发生不良反应

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