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标题: 光刻胶是正胶还是负胶 [打印本页]

作者: justlikethisis 时间: 2022-5-19 16:06
标题: 光刻胶是正胶还是负胶
同一种mask在不同工艺上用的光刻胶是一样的吗？
PM这层在TSMC 55用的是负胶，在0.18工艺上用的时候是正胶还是负胶？

作者: somethingabc 时间: 2022-5-19 16:35
不一定，用正胶还是负胶是由fab决定的

作者: nevadaooo 时间: 2022-5-19 17:38
不一定这个

作者: ldezgr 时间: 2022-5-20 09:01
看看大佬们怎么说

作者: 青藤门下一走狗 时间: 2024-10-31 13:07
看看大佬们怎么说

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