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标题: FPC蚀刻液的再生 [打印本页]

作者: uperrua    时间: 2022-4-26 10:28
标题: FPC蚀刻液的再生
再生的原理主要是利用氧化剂将溶液中的Cu*氧化成Cu2+。再生方法一般有以下几种。
% \; W* P0 a" x* {1)通氧气或压缩空气再生:! x* t0 z) v' `. \
主要的再生反应为:2Cu2Cl2+4HCH+O2->4CuCl2+2H2O但此方法再生反应速率很低。
+ n7 {: w  W/ p/ W3 U' k2)氯气再生:* B& V8 j; M5 `! Y, j5 B7 ^. R* b
主要的再生反应为:CuzCl2+C2->2CuCl2
/ @- i& `& I* A7 Z0 N由于氯气是强氧化剂,直接通氯气是再生的最好方法。因为它的成本低,再生速率快。但是,很难做到使氯气全部都参加反应,如有氯气溢出,会污染环境。故该法要求蚀刻设备密封。
0 }8 T$ t  |4 I  _* v4 T- Y; [3)电解再生:
: f1 D! j5 G6 P6 r主要的再生反应为:在直流电的作用下,在阳极:Cu1+ ->Cu2+ +e
& S+ T: i  _" J% B, z在阴极:Cu1+ +e ->Cu0
% N& `# p. {! @4 x  C0 v这种方法的优点是可以直接回收多余的铜,同时又使Cut+氧化成Cu2+,使蚀刻液得到再生。但是此方法的再生设备投入较大且要消耗较多的电能。: E+ g5 f9 g( H0 E$ J; d
4)过氧化氢(双氧水)再生:
$ P" K' e0 K. v/ H) h+ T主要的再生反应为:CuzCl2+2HC+H2O2->2CuCI2+2H2O这种方法再生速度快,因为HzO2可以提供游离氧[O],因此只需要40-70秒即可再生。在自动控制再生系统中,通过控制氧化-还原电位、HO2与Hci的添加比率,比重和液位,温度等项参数,可以达到实现自动连续再生的自的。0 ]$ o( ?2 }, Y' h# W5 ?0 h
正像前面所述,随着蚀刻的进行,溶液中的Cu*浓度不断增加,溶液的电极电位要不断降低。当测得的电位低于给定的电位时,通过控制装置添加H2O2,同时添加HCi,当电位升高到给定的值时,添加控制装置停正工作。按上面的再生化学方程式可知,每蚀刻1克分子铜要消耗2克分子的盐酸和1克分子的过氧化氢。据有关资料介绍,如果使用35%的HeO2和37%的HCl,就可以1:2的体积比进行添加。每蚀刻1克铜大约需要1.4ml 35%H2O2和3ml 37%的HCI。在实际生产中按1:3体积比添加,蚀刻速率基本保持恒定。
" g, N2 x. f5 o% }$ E( Y; Y1 f1 c" h另一个参数是溶液的比重,随着蚀刻的进行,溶液中的铜含量不断增加,使溶液比重不断升高。一般要求把溶液的比重控制在1.28-1.295之间。比重较低溶液的蚀刻速率不稳定,且蚀刻速率慢;溶液比重过高,蚀刻速率也会降低。所以,必要时加水到溶液中以调节比重。不过用过氧化氢-盐酸的再生系统,蚀刻过程中溶液的比重不会上升过快。因为再生的副产物中有水存在& k9 C: M; F8 {; o* E  ^

2 S  E5 A2 G2 d9 a, t: [! H4 N蚀刻过程中常出现的问题:1〉蚀刻速度变慢- S6 v8 R" e9 B7 `0 q# T
这通常是温度低,喷淋压力低或蚀刻液的化学组份控制不当造成的。在上述条件控制较好的情况下,蚀刻速率缓慢的原因可能是溶铜量过高。此时,就要对蚀刻液进行调整再生。
2 M3 r' c. y+ _/ Z2)溶液出现沉淀' C9 ~$ U2 g$ y6 l4 K
这是由于溶液中缺乏络合剂Cl-造成的,或用水稀释造成的。沉淀物是难溶于水的Cu2CI2。
8 A8 y' G+ I  X4 j! p/ \3)抗蚀层损坏:! T2 Y6 `6 r4 M% f! k$ U
当过量的酸存在时,就会发生这个现象。尤其是在温度较高的情况下更容易发生。可以用NaOH中和或者用水替换部分溶液调整过来。如果酸的浓度和抗蚀层的条件是适合的,那么。出现故障的原因可能是在板面清洗时不当或者是曝光造成的。- s) h4 I; t  t0 Z& `3 T8 ~
4)在铜表面有黄色残渣  G+ L) ^5 T% p
这种残渣一般是氢氧化铜,它不溶于水。当板面被蚀刻或碱性清洗时,就作为残渣留在板上。另外,当蚀刻液中Cl-浓度和酸度太低时,蚀刻后板面会有白色的沉淀出现,这可能是不溶性的氯化亚铜泥状沉淀。为了除去板面沉淀,可用5%的盐酸溶液清洗,然后再用水清洗。/ o; F# ?& q) c. I9 O
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作者: Joejoe1    时间: 2022-4-26 13:48
再生时有哪些注意事项?
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