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标题: 工艺厂为什么要在版图上加很多dummy？ [打印本页]

作者: harrisonny 时间: 2022-4-20 14:49
标题: 工艺厂为什么要在版图上加很多dummy？
工艺厂会在顶层金属密度不够的地方自动加上金属dummy，这样做有什么好处？

作者: tutututut 时间: 2022-4-20 15:18
为了工艺线的平稳度，让其误差更小

作者: CLBuu 时间: 2022-4-20 16:12
防止刻蚀时出现刻蚀不足或刻蚀过度

作者: bekindasd 时间: 2022-4-20 17:21
使得CMP能磨平

作者: somethingabc 时间: 2022-4-22 16:38
存在即需要

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