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标题: 射频溅射与偏压溅射的区别 [打印本页]

作者: choose521 时间: 2022-4-6 14:09
标题: 射频溅射与偏压溅射的区别
薄膜科学与技术里面的，希望专业人士能够详细的为我解惑

作者: opipo 时间: 2022-4-6 14:59
射频溅射用射频电源提供能量激发等离子，偏压溅射用的是直流产生等离子，射频溅射能用绝缘靶偏压则不行，还有膜的致密度射频更好

作者: rergr 时间: 2022-4-6 15:51
同问，求结果

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