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标题: 典型电子元器件失效分析方法 [打印本页]
作者: yjtj30xe    时间: 2021-10-18 11:28
标题: 典型电子元器件失效分析方法
1、 微分析法 8 D( v8 v( w" s, F  {
(1) 肉眼观察是微分析技术的第一步，对电子元器件进行形貌观察、线系及 # _( J" q9 f9 f- |7 Y
其定位失准等，必要时还可以借助仪器，例如：扫描电镜和透射电子显微镜等进
& [& P7 A; m' Q2 e, r9 J5 A: n, i  q行观察；" |; t, u$ V7 |9 [6 p
(2) 其次，我们需要了解电子元器件制作所用的材料、成分的深度分布等信 7 O5 n% v! D: ?' f% Q. U
息。而 AES、SIMS 和 XPS 仪器都能帮助我们更好的了解以上信息。不过，在 % ]9 v8 J% {% Z4 g0 f+ k! M+ J
作 AES 测试时，电子束的焦斑要小，才能得到更高的横向分辨率；
. H- B* A7 W7 l- U$ m% u(3) 最后，了解电子元器件衬底的晶体取向，探测薄膜是单晶还是多晶等对
3 P' q* k: R7 J' H- W9 B其结构进行分析是一个很重要的方面，这些信息主要由 XRD 结构探测仪来获取。
  [; K* E4 k' {2、 光学显微镜分析法
, N/ ^% F; J* }4 b* O进行光辐射显微分析技术的仪器主要有立体显微镜和金相显微镜。将其两
; I$ x8 G, O# P+ Z" c6 O者的技术特点结合使用，便可观测到器件的外观、以及失效部位的表面形状、结
6 s; d" M# s$ T1 v: `构、组织、尺寸等。亦可用来检测芯片击穿和烧毁的现象。此外我们还可以借助
! {) t6 l, [7 h4 q; X% S具有可提供明场、暗场、微干涉相衬和偏振等观察手段的显微镜辅助装置，以适 ; N( ?# l$ ~6 [1 i; q% {' s  v
应各种电子元器件失效分析的需要。 0 ^" t& f% N3 t6 n
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作者: 瞪郜望源_21    时间: 2021-10-18 11:38
这个资料很稀饭，很有参研价值，值得学习和研究，学习下
作者: 行者～ABC    时间: 2021-10-18 15:52
声学显微镜分析法/ |) `; q: V: R2 N
这个方法也用的多6 D6 ^; W. Y8 D3 Y5 s+ i5 ~




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