通过红外探测技术,检测显示芯片热分布情况,用来观察异常扩散、针孔或二氧化硅层台阶处的局部热点、PN结不均匀的击穿点、键合处裂纹、金属膜内部的小孔等,以便筛选掉存在严重体内缺陷、表面缺陷、热缺陷的器件。 * G. f' k7 u( m
4.功率老化筛选3 ^, y; L. s1 p) [3 {6 A
功率老化筛选是很有效的一种筛选方法,是高可靠集成电路必须进行的筛选手段之一。功率老化通过对产品施加过电应力(电压或功率)或同时施加电应力与热应力,促使早期失效器件存在的潜在缺陷尽快暴露而被剔除。它能有效地剔除器件制备过程中产生的工艺缺陷、金属化膜过薄及划伤和表面沾污等。功率老化筛选试验所采用的温度可以是常温,也可以是高温。对于常温,通常提高电应力;对于高温,通常施加额定电力,其目的是获得足够的筛选应力。该种筛选方法比较接近产品的实际工作状态,易于暴露工艺过程中所产生的隐藏损伤和缺陷,因而它是一种比较有效的筛选方法。对于可靠性要求高的元器件常常把此筛选列入成品前的一道工艺,进行100%的筛选,但是,该筛选试验费用较大,而且需要专门的功率老化设备。! ?+ s, A/ a8 t ], u# s
如集成电路的功率老化筛选,通常是将产品置于高温条件下,施加最大的电压,以获得足够大的筛选应力,达到剔除早期失效产品的目的。所施加的电应力,可以是直流偏压,也可以是脉冲功率应力。前者多用于小规模数字电路,而后者则用于中、大规模集成电路,使电路内的元器件在试验时能承受工作状态下的最大功耗和应力。超功率试验虽然可以缩短老化时间,但也有可能使器件瞬时负载超过最大额定值,使合格器件遭受损伤,甚至发生即时劣化或击穿。有的产品可能暂时还能工作,但寿命却缩短了。所以,对于超功率试验而言,并不是超得越多越有效果,而是应选择一个最佳的超负荷量。现在较一致的方法是对器件施加最大额定功率,适当延长老化时间。这是较合理的电功率老化筛选方法。 / N L: ?/ u, N% P# s! k2 N
5.高温存储筛选+ d4 B, C' u$ P" c$ \
由于高温促使元器件内部或表面的化学反应加速,使早期失效的元器件提前失效,从而暴露出早期失效产品。如果在集成电路封装的管壳内含有水汽或各种有害气体,或者芯片表面不清洁,或者在键合处存在各种不同的金属成分等,都会产生化学反应,高温储存可加速这些反应。它是通过热应力来加速储存寿命的筛选试验,该种筛选方法的最大优点是操作简单易行,可以大批量进行,而且筛选效果也比较好,投资又少,因而它是最便宜的一种试验,并且是目前比较普遍采用的筛选试验。, e0 H, t( U9 t8 ]# e ?( P* M
高温储存温度,对于硅器件而言,金铝系统一般选用150℃,铝铝系统选用200℃,金金系统选用300℃,储存时间则一般为24~168小时。 2 Z% x8 E4 f; v; q6 C
6.高温工作筛选 3 W; N0 S4 K6 L+ U! k
高温工作筛选一般有高温直流静态、高温交流动态和高温反偏三种筛选方法,对于剔除器件表面、体内和金属化系统存在的潜在缺陷引起的失效十分有效。高温反偏是在高温下加反偏工作电压的试验。它是在热电应力的共同作用下进行的,与实际工作状态很接近,所以比高温储存筛选的效果好。3 F4 m# E3 p7 M3 V6 T
7.温度循环和热冲击筛选2 w2 {2 `2 A6 t- \' O1 Z
温度循环可以加速因材料之间热不匹配效应所造成的失效,芯片组装、键合、封装以及在氧化层上的金属化膜等潜在缺陷都可以通过温度循环进行筛选。温度循环筛选的典型条件是-55~155℃或-65~200℃进行3次或5次循环。每循环一次,在最高或最低的温度下各保持30分钟,转移时间为15分钟。试验后进行交直流电参数测试。热冲击筛选是判定温度急剧变化的集成电路强度的有效方法,例如,设有100℃和0℃两个水槽,在高温槽浸15秒后取出,在3秒内移入低温槽至少浸5秒,再于3秒内移入高温槽,如此往复操作5次。& k- G5 k8 W, E4 ~7 i5 g
以上的两个筛选试验,也有时统称为环境应力筛选。环境应力筛选主要用于挑剔对环境适应性差的产品,如在高低温环境下,由于热胀冷缩产生的应力易于造成元器件的失效,可以采用温度冲击的筛选方法将其剔除。同时,对于热胀冷缩性能和温度系数不匹配的各种材料,也有很好的筛选作用。机械应力(如振动、冲击、离心等)筛选,易于挑出结构、焊接、封装等存在潜在裂纹、缺陷的元器件,但往往容易对好产品产生新的隐患,因此对于其筛选应力的大小选择要尤其注意。同时,不一定要采用100%检验,可以抽样进行,而且只对机械应力有特殊要求的产品进行这些项目的筛选。 ( Y2 { e4 o; c. C/ o/ I3 z6 B必须指出,各制造厂或使用单位并非对上述各筛选试验项目都要进行,也不是所有出厂的元器件都要进行100%的筛选试验。特别是对一些带有破坏性的试验项目,只采用抽样方式进行。在实际选用时,主要根据实际产品有关的失效模式和机理,结合可靠性的要求、实际使用条件,以及工艺结构情况,在标准规范未形成前由制造单位和使用单位协商确定。现在实际用得较多的筛选项目不一定表示筛选效果最佳,而是从设备条件、经济以及操作方面考虑。对一些可靠性要求高的产品,大多采用目视检查、高温储存、高温功率老化、温度循环、离心加速、检漏以及电测试等项目进行筛选,且采用100%的筛选试验。例如,美国先锋号卫星计划用的某集成电路的筛选项目如表3.11所示。; o, S! L5 \, f0 X1 T; b
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