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标题: 干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点有哪些？ [打印本页]

作者: grand 时间: 2020-5-11 10:23
标题: 干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点有哪些？
干法刻蚀和湿法刻蚀的优缺点有哪些？

作者: Yassminee 时间: 2020-5-11 12:06
各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

作者: Yassminee 时间: 2020-5-11 12:08
各有优劣，看你适用于腐蚀哪种膜，以及与前期工艺的兼容性等。
湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制。
干法腐蚀：能实现各向异性刻蚀，即纵向的刻蚀速率远大于横向刻蚀的速率，保证了细小图形转移后的高保真性。
缺点：设备昂贵

作者: ounce 时间: 2020-5-11 13:06
● 干法刻蚀优点:各向异性好，选择比高，可控性、灵活性、重复性好，细线条操作安全，易实现自动化，无化学废液，处理过程未引入污梁，洁净度高。 ● 干法刻蚀缺点:成本高，设备复杂。 ● 湿法刻蚀优点:选择性好、重复性好、生严效率高、设备简单、成本底。 ● 湿法刻蚀缺点:钻刻严重、对图形的控制性较差不能用于小的特征尺寸，会产生大量的化学废液。

作者: grand 时间: 2020-5-11 13:38

Yassminee 发表于 2020-5-11 12:06
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谢谢你的回复，我了解了

作者: grand 时间: 2020-5-11 13:39

Yassminee 发表于 2020-5-11 12:08
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湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤 ...

谢谢你的答案，受益匪浅

作者: dull 时间: 2020-5-11 13:52
● 干法刻蚀优点:各向异性好，选择比高，可控性、灵活性、重复性好，细线条操作安全，易实现自动化，无化学废液，处理过程未引入污梁，洁净度高。 ● 干法刻蚀缺点:成本高，设备复杂。 ● 湿法刻蚀优点:选择性好、重复性好、生严效率高、设备简单、成本底。 ● 湿法刻蚀缺点:钻刻严重、对图形的控制性较差不能用于小的特征尺寸，会产生大量的化学废液。

作者: dull 时间: 2020-5-12 10:22
我又来了，各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

作者: duck 时间: 2020-5-12 10:25
各有优劣，看你适用于腐蚀哪种膜，以及与前期工艺的兼容性等。湿法腐蚀：选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制。干法腐蚀：能实现各向异性刻蚀，即纵向的刻蚀速率远大于横向刻蚀的速率，保证了细小图形转移后的高保真性。缺点：设备昂贵

作者: cscscwww 时间: 2020-5-12 13:12
各有优劣吧，选择性高、均匀性好、对硅片损伤少，几乎适用于所有的金属、剥离、塑料等材料。缺点：图形保真度不强，刻蚀图形的最小线宽受到限制

作者: 青藤门下一走狗 时间: 2024-10-23 15:57
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