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非常好的静电保护(ESD)原理和设计（下）
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作者:
House
时间:
2018-10-22 10:07
标题:
非常好的静电保护(ESD)原理和设计（下）
本帖最后由 House 于 2018-10-22 17:45 编辑
0 R9 t+ e* D0 ~2 ~1 p. B
3 ~9 Y4 |2 a6 } r3 n( E: @& t
非常好的静电保护(ESD)原理和设计（下）
好了，ESD的原理和测试部分就讲到这里了，下面接着讲Process和设计上的factor
C9 {0 h. ], I2 h4 `2 k% E4 R& ~
随着摩尔定律的进一步缩小，器件尺寸越来越小，结深越来越浅，GOX越来越薄，所以静电击穿越来越容易，而且在Advance制程里面，Silicide引入也会让静电击穿变得更加尖锐，所以几乎所有的芯片设计都要克服静电击穿问题。
' ? A% _0 K. p0 O7 B: H# K
- E: c4 [0 ]) w4 r0 J
静电放电保护可以从FAB端的Process解决，也可以从IC设计端的Layout来设计，所以你会看到Prcess有一个ESD的option layer，或者Design rule里面有ESD的设计规则可供客户选择等等。当然有些客户也会自己根据SPICE model的电性通过layout来设计ESD。
9 B* F( z* U* H' b5 n" p
1、制程上的ESD
：要么改变PN结，要么改变PN结的负载电阻，而改变PN结只能靠ESD_IMP了，而改变与PN结的负载电阻，就是用non-silicide或者串联电阻的方法了。
# I$ @7 l% }' W9 g+ Y
1) Source/Drain的ESD implant：因为我们的LDD结构在gate poly两边很容易形成两个浅结，而这个浅结的尖角电场比较集中，而且因为是浅结，所以它与Gate比较近，所以受Gate的末端电场影响比较大，所以这样的LDD尖角在耐ESD放电的能力是比较差的(<1kV)，所以如果这样的Device用在I/O端口，很容造成ESD损伤。所以根据这个理论，我们需要一个单独的器件没有LDD，但是需要另外一道ESD implant，打一个比较深的N+_S/D，这样就可以让那个尖角变圆而且离表面很远，所以可以明显提高ESD击穿能力(>4kV)。但是这样的话这个额外的MOS的Gate就必须很长防止穿通(punchthrough)，而且因为器件不一样了，所以需要单独提取器件的SPICE Model。
/ N3 O3 c9 ]' J
$ z" m0 q: Z: z, ` S) H
" i/ z$ Z; Y, v) y/ y) @
3 |2 `- N2 `9 i* O
作者:
如意qq
时间:
2018-10-22 18:17
谢谢分享
作者:
luog
时间:
2020-4-16 14:48
非常好的静电保护(
ESD
)原理和设计（上）
. {1 _+ U p" i& M
作者:
风雨长戈
时间:
2020-4-17 19:26
学习
作者:
crawford
时间:
2020-6-19 16:27
谢谢分享
作者:
mengyijiu
时间:
2020-6-22 15:26
学习下
作者:
ylmf1251997653
时间:
2020-6-23 09:36
好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴
作者:
lihaidexihongsh
时间:
2020-6-23 11:21
谢谢分享
% h+ C% E4 S. h( h
作者:
Locwis
时间:
2020-11-5 09:46
学习学习
作者:
jink_wangwx
时间:
2020-11-5 10:13
学习学习
作者:
thinkingpunk
时间:
2020-11-8 23:02
感谢分享，谢谢
/ M4 i# u7 _6 [1 |* N ?9 A
作者:
li96261
时间:
2020-11-11 21:28
谢谢分享
作者:
仗剑御天涯
时间:
2020-11-13 13:58
赞一个，。。。。
作者:
官贵平
时间:
2020-11-14 10:29
学习学习@@
3 O" p8 n6 n# a) e
作者:
clp783
时间:
2020-11-18 10:48
非常好的静电保护(ESD)原理和设计
作者:
wei_fx
时间:
2020-11-18 11:14
非常好的静电保护ESD原理和设计
作者:
蚂蚁乱舞
时间:
2020-11-18 16:23
学习下，谢谢楼主分享
作者:
铁锤
时间:
2020-12-9 11:46
谢谢分享！！
; O) V- n% X; |( \$ w# |6 w
作者:
alias
时间:
2020-12-9 16:25
谢谢分享！
作者:
zzqfox
时间:
2020-12-10 08:50
谢谢分享
作者:
wp493164114
时间:
2020-12-11 11:43
谢谢分享！！！！！！
/ q( X' u; |# ^9 i
作者:
被我折服
时间:
2020-12-11 14:50
1111111111111111111111
: b& q5 ~% ^1 E4 y- m4 {5 }& T
作者:
qwyysfl
时间:
2020-12-11 16:46
学习学习，感谢分享
# j! Y1 e3 y6 @! J
作者:
chaoshuo429
时间:
2020-12-15 20:28
谢谢分享，多谢楼主分享
/ q2 W+ Q0 @5 T) X3 m$ Q: y
作者:
zefengge12138
时间:
2020-12-16 15:55
看看，学习学习
& E- W {; Q9 a8 F1 f9 M1 Z
作者:
startostar
时间:
2020-12-16 16:11
1111111111111111111
作者:
xem07
时间:
2020-12-22 09:54
学习
作者:
hahety
时间:
2020-12-23 16:00
谢谢分享
作者:
stelan
时间:
2020-12-24 17:33
很好
作者:
浮尘猫
时间:
2020-12-24 19:55
谢谢分享
作者:
TouchSkyline
时间:
2020-12-25 09:21
嘎嘎嘎
. C) c6 s% S2 a* p: D
作者:
穿山跃海
时间:
2020-12-26 08:34
谢谢分享+1+1
作者:
自由的风
时间:
2020-12-29 15:21
感谢楼主的分享
; o/ N% J( u" f" u/ C
作者:
xtjo
时间:
2021-1-6 10:00
谢谢分享
作者:
岐山
时间:
2021-1-7 14:40
看看 ，学习一下，上写的不错
M% G; s7 m! _2 Q, Z- F, k6 G
作者:
jiangshizp
时间:
2021-1-14 17:19
学习学习，谢谢
作者:
sprint
时间:
2021-1-15 11:16
1 O5 r' F. Y6 u0 m0 W; ]$ r( Y0 c
作者:
908437973
时间:
2021-1-15 14:33
...........
作者:
yzy666666
时间:
2021-1-18 18:15
KYFFUFYUOGUIUI
) W( r, M& t6 c/ }9 H% t; D
作者:
wywmzyq0510
时间:
2021-1-19 14:04
感谢分享！
作者:
zx_01
时间:
2021-1-20 22:45
感谢分享。
作者:
hyz8578562
时间:
2021-2-2 14:32
66666666666666666
2 v2 `3 O/ @1 ?5 ~8 a
作者:
lihui0628
时间:
2021-2-2 17:30
谢谢分享。。。。
作者:
woshidwj
时间:
2021-2-6 14:23
学习学习
作者:
pchenglan
时间:
2021-2-6 19:08
学习学习感谢楼主分享了
" d, K! l" _9 O( B! s' T
作者:
gx_qian2
时间:
2021-2-7 11:17
11111111111
; d1 d. a, b3 _& r' h7 n6 P' s
作者:
蹦蹦
时间:
2021-2-17 15:19
看看
作者:
hszwei117
时间:
2021-2-20 15:35
学习再学习
作者:
随风飘远
时间:
2021-3-9 14:01
感谢分享，谢谢
作者:
flash005
时间:
2021-3-9 17:30
6666666666666666666
作者:
小个子灰原哀
时间:
2021-3-10 09:51
来瞅瞅
作者:
qq1358942282
时间:
2021-3-10 10:13
非常好的静电保护(ESD)原理和设计
3 T$ [1 i# w5 ]
作者:
15773148976
时间:
2021-3-31 16:59
谢谢
作者:
jxiao5
时间:
2021-3-31 18:55
学习学习！！！！！
作者:
XIEBJ
时间:
2021-3-31 19:39
，。。。。。。。
" e5 C+ F" @6 F0 }) w* p9 z! i
作者:
hellolby
时间:
2021-4-2 17:02
看看帖子里藏了啥好东西~~~
作者:
venusjoy
时间:
2021-4-11 20:25
哈哈哈哈或，研究研究
作者:
liao_1991
时间:
2021-4-12 18:01
000000000000
作者:
oneisall
时间:
2021-4-14 17:09
1111111111
, A4 P9 L/ c" w0 l, {: k
作者:
魔头人
时间:
2021-5-21 09:37
我的队伍多
作者:
qilinwang66
时间:
2021-5-21 11:42
谢谢分享
作者:
芝麻开门_liu
时间:
2021-5-21 15:25
国内目前这方面资料太少了，要么就是特别贵！
作者:
Linna
时间:
2021-5-21 18:30
lan kkkkkkkkkkkkkkk
作者:
小强丷
时间:
2021-5-21 22:59
学习下，进步下
, z; Y4 N* ~0 v/ ^: r
作者:
jiuyehui
时间:
2021-6-18 14:40
多谢分享 支持
作者:
liang007008
时间:
2021-6-22 11:49
谢谢分享。
作者:
小竹竹林
时间:
2021-6-26 16:18
谢谢分享。
6 [9 \- u- ^: v; @$ W9 z+ @3 H
作者:
BenjaminZ
时间:
2021-6-28 17:05
；；；；；；
( q! g1 U( f I. X' `
/ A3 `6 _" U; a) \8 `
作者:
congwei8888
时间:
2021-6-30 11:22
kankan,xueixi yixia
8 J! R. c5 C) e6 d
作者:
flying2016
时间:
2021-7-7 22:41
学习了
作者:
ddgg
时间:
2021-7-8 17:28
000000000000000
作者:
hanshaoxia
时间:
2021-7-12 16:53
感谢分享。。。。。。。
作者:
123144483@qq.co
时间:
2021-7-14 08:42
好好好好好好好好好好好好好好好好好
作者:
加把劲骑士
时间:
2021-7-21 15:54
谢谢分享
作者:
yifeng
时间:
2021-7-22 15:36
111111111
作者:
SHRing
时间:
2021-7-22 16:53
学习
作者:
zbb
时间:
2021-7-27 10:45
6666666666666666666666
作者:
Skriniar
时间:
2021-8-9 15:12
xiexie
作者:
sidenight
时间:
2021-8-12 17:51
好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴好贴
' y y7 v/ m8 E; ?- P% p
作者:
chuan4242
时间:
2021-8-13 14:36
学习一下学习一下
作者:
firstyonghu
时间:
2021-8-19 16:05
好贴 先回帖 在看
+ l! \, H$ q7 N
作者:
zoudayu
时间:
2021-8-20 13:06
看一看 毛一毛
: f. j5 }' ?, _ p' Q0 ~$ ~
作者:
ByGrith4
时间:
2021-9-30 14:27
1111111111111111111
作者:
瞪郜望源_21
时间:
2021-10-4 15:53
不错不错，写的很是到位，内容全面丰富，很专业和有深度，学习下
作者:
bobyao623
时间:
2021-10-5 12:02
学习一下
作者:
51video
时间:
2021-10-5 17:28
谢谢分享，这个太好啦！！
4 c4 s2 G/ j# f" G9 \0 G9 i7 U: T
作者:
seven20052008
时间:
2021-10-6 15:03
谢谢楼主的分享
作者:
LIGHT0177
时间:
2021-10-6 15:35
多谢分享
作者:
pressman
时间:
2021-10-7 20:00
学习学习，膜拜一下
作者:
LJH1139389397
时间:
2021-10-8 08:30
学习一下
作者:
1597689180@qq.c
时间:
2021-10-29 10:46
学习学习！
作者:
Geek生活空间
时间:
2021-10-31 10:32
攒攒谢谢分享
0 P: Y# K- {( J$ h0 y ?& r4 C, z% u
作者:
meng110928
时间:
2021-11-1 10:06
看看看看看
0 A0 _& U, A; N2 B: G5 x
作者:
yahoboys
时间:
2021-11-1 16:40
666
作者:
神气的泡泡1
时间:
2021-11-22 13:51
继续学习
作者:
Agan
时间:
2021-11-23 11:31
谢谢大神，正需要这方面的学习
2 ^7 }! r* E+ J" H4 ^) \
作者:
a2418089
时间:
2021-11-25 09:26
谢谢楼主
作者:
zhengxicai66
时间:
2021-11-28 22:44
非常好的资料，下来看看
作者:
1366822042
时间:
2021-11-30 16:54
学习来着了
作者:
li_pc
时间:
2021-11-30 21:41
学习一下
' u, L& e- J( Q, L: c" Y, E
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